[发明专利]一种定位输送的半导体光刻板清洗装置

权利要求书

1.一种定位输送的半导体光刻板清洗装置，该装置包括外罩机架组件以及依次设置在外罩机架组件内的上料机构、旋转抓取装置、定位顶升输送滚轮装置、第一输送滚轮装置、直线移动抓取机构、清洗装置和第二输送滚轮装置，所述的上料机构上的光刻板通过旋转抓取装置放置至定位顶升输送滚轮装置，定位顶升输送滚轮装置连接第一输送滚轮装置，第一输送滚轮装置上的光刻板通过直线移动抓取机构放置至清洗装置并由直线移动抓取机构取出放置至第二输送滚轮装置；其特征在于，定位顶升输送滚轮装置包括架体、输送滚轮装置、抓取定位装置和提升横移装置；

架体固定在外罩机架组件上，输送滚轮装置包括侧板、传动轴和纵向滚轮，两块侧板固定在架体上，多根传动轴横向并排设置在两块侧板之间，所述的每根传动轴上串联多个纵向滚轮，且两两纵向滚轮间有两个挡边轮，使得两个纵向滚轮之间有一定的空隙，每根传动轴的端部设置有皮带轮，皮带轮通过皮带相互传动连接，皮带传动连接设置有电机；

所述的抓取定位装置包括定位板、移动板和拨动架，定位板和移动板均设置在传动轴的下方，定位板与架体固定连接，并在定位板和移动板之间设置有两根轴，所述的定位板与轴固定连接，移动板与轴通过轴套相连接，并在移动板的两侧分别设置有皮带夹具，每个皮带夹具均固定在一条皮带上，所述的皮带架设在皮带轮上并传动连接设置有电机；所述的定位板和移动板上均设置有拨动架，拨动架包括立杆、上杆和拨动杆，立杆设置在定位板和移动板的两端，立杆上端位于纵向滚轮上方，上杆架设在两根立杆上，在上杆上向下设置有多根拨动杆，多根拨动杆的下端位于纵向滚轮的横向槽内；

所述的提升横移装置包括气缸固定板、顶升气缸、导向杆、连接板、滚轮安装条和横向滚轮，所述的气缸固定板固定设置架体上，顶升气缸固定在气缸固定板上，所述的连接板与顶升气缸的活塞杆相连接，导向杆通过轴套设置在气缸固定板上，导向杆的上端与连接板固定连接，多根滚轮安装条横向并排设置在连接板上，在滚轮安装条设置多个滚轮支架，横向滚轮设置在滚轮支架上，在顶升气缸伸出的时候，横向滚轮凸出位于纵向滚轮的上方。

2.根据权利要求1所述的一种定位输送的半导体光刻板清洗装置，其特征在于，上料机构和卸料机构结构相同，均包括放料座、辊道和上料小车；可移动式放料座用于放置待加工的光刻板，放料座底面平整，上部设置V型储料槽，V型储料槽的出料一边低于靠料一边；所述的辊道安装在两侧的辊道侧板中，辊道侧板固定安装在机架上，辊道与上料小车相互衔接，放料座能在辊道和上料小车上移动；所述的辊道的末端设置有料座锁紧装置，并在辊道的外侧设置有小车锁紧装置。

3.根据权利要求2所述的一种定位输送的半导体光刻板清洗装置，其特征在于，料座锁紧装置包括旋转气缸和锁紧板，旋转气缸设置在辊道靠近设备里面的一端，锁紧板的一端安装在旋转气缸上，不旋转时，锁紧板一侧与辊道水平，旋转气缸旁还安装有接近传感器，辊道侧板两侧也各有一个接近传感器，旋转气缸两旁还装有两个限位块。

4.根据权利要求2所述的一种定位输送的半导体光刻板清洗装置，其特征在于，小车锁紧装置包括两个气缸、导向杆和锁紧板，在辊道靠近外面的一侧下方有一固定安装在机架上的挡板，挡板内测安装有两个气缸， 气缸旁还有两个导向杆，气缸和导向杆共同安装在气缸安装板上，气缸安装板通过两个杆固定安装机架上，两根杆上个安装有一个小车滚轮；挡板的另一侧，与小车滚轮对应的位置有两个窗口，小车滚轮通过窗口露出来；所述的锁紧板与气缸的活塞杆相连接，锁紧板上设置有横架，横架上设置有放横梁的槽；上料小车的一端放置在横架的槽里，并在横架上设置有插板，气缸上升时插板能与上料小车上的横梁相互锁紧。