[发明专利]一种固晶工艺结构及固晶机

权利要求书

1.一种固晶工艺结构，包括：由上至下依次设置的固晶臂控制机构、引线框架夹具及晶元，所述引线框架夹具包括：第一重叠部分及架空部分，所述晶元包括：第二重叠部分及裸露部分，俯视状态下，所述第一重叠部分与第二重叠部分相重合；所述固晶臂控制机构包括：固晶臂、纵向移动组件及转动组件，所述纵向移动组件与固晶臂连接，用于带动固晶臂纵向移动；所述转动组件与纵向移动组件连接，用于带动固晶臂由晶元向引线框架夹具旋转，及由引线框架夹具向晶元旋转；

所述转动组件包括：旋转驱动源、旋转轴、夹紧轴及晶臂座，所述夹紧轴与旋转轴上端螺纹连接后固定在旋转驱动源中输出轴的外缘，所述旋转轴下端与晶臂座可移动连接，所述晶臂座下端与固晶臂相连接；

所述晶臂座与固晶臂之间设置有转接块，所述转接块中部开设有一晶臂收容槽，所述晶臂收容槽内设置有臂力调节螺栓，所述臂力调节螺栓在固晶臂一端插入晶臂收容槽后穿过转接块及固晶臂设置，且臂力调节螺栓外缘套设有一臂力调节弹簧，所述臂力调节弹簧位于固晶臂与转接块之间，用于固定臂抓取晶元时起缓冲作用；所述固晶工艺结构还包括：弹片，所述弹片一端与转接块螺纹连接，另一端与固晶臂转动连接。

2.根据权利要求1所述的固晶工艺结构，其特征在于，所述旋转轴外缘固定连接有旋转感应器片，所述转动组件一侧设置有R轴光电感应器，所述旋转感应器片的高度与所述R轴光电感应器的高度相适配。

3.根据权利要求2所述的固晶工艺结构，其特征在于，所述固晶工艺结构还包括：驱动源固定座，所述旋转驱动源固定在驱动源固定座上端面，所述R轴光电感应器固定在驱动源固定座下端面。

4.根据权利要求3所述的固晶工艺结构，其特征在于，所述纵向移动组件包括：移动驱动源、移动导轨、滑块、滑动板及连接板，所述移动驱动源固定在驱动源固定座下端面，所述移动导轨固定在移动驱动源侧面，所述滑块与移动导轨相适配且通过滑动板与连接板相连接，所述连接板固定连接在移动驱动源中输出轴的下端面，且与固晶臂相连接。

5.根据权利要求4所述的固晶工艺结构，其特征在于，所述滑动板与驱动源固定座之间设置有拉簧，所述拉簧、滑动板及滑块皆设置有两个；所述连接板一侧固定有用于测量连接板移动距离的Z向读数头。

6.根据权利要求4所述的固晶工艺结构，其特征在于，所述滑动板背离移动驱动源一端设置有转动槽，所述转动槽内设置有角接触轴承，所述角接触轴承内缘设置有转动连接杆，所述转动连接杆上端与晶臂座固定连接；

所述晶臂座面向旋转轴一面固定连接有第一交叉导轨，所述旋转轴面向固晶臂一面固定连接有第二交叉导轨，所述第一交叉导轨可沿第二交叉导轨纵向移动。

7.一种固晶机，其特征在于，所述固晶机包括如权利要求1至6中任意一项所述的固晶工艺结构。