[发明专利]一种通过纳米剪纸形成偏振旋转器的制备方法

权利要求书

1.一种通过纳米剪纸形成偏振旋转器的制备方法，包括以下步骤：

S1，制备一悬空的导电薄膜；

S2，对所述导电薄膜切割，得到至少一个导电薄膜构成局部连接的、多条非接触曲线构成的非封闭二维通透结构；

S3，采用离子束对非封闭二维通透结构所在的区域进行帧扫描式的整体辐照，以形成拱起及扭曲的三维曲面微纳结构，即得到构成偏振旋转器的三维曲面结构单元；

S4，将三维曲面结构单元按预定的周期排列，以得到偏振旋转器；

在S3中，采用离子束对所述非封闭二维通透结构进行整体辐照，以使得扫描覆盖的导电薄膜区域发生变形，所述非封闭二维通透结构的各个部分在分别变形的同时相互关联、相互作用，进而带动整个图案在向上拱起的同时形成扭曲形变，以实现纳米剪纸的“拉花”步骤，以形成几何结构丰富的悬空的三维曲面微纳结构。

2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述导电薄膜为表面平坦的、中间悬空、四周支撑的导电薄膜。

3.根据权利要求1或2所述的制备方法，其特征在于，导电薄膜悬空形成在具有窗口的基底上，所述导电薄膜的四周被所述基底的窗口支撑。

4.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述导电薄膜为复合薄膜或纯金属薄膜；所述复合薄膜为对介质膜材料进行金属镀膜形成；所述纯金属薄膜是利用微纳加工工艺将介质膜去除后获得。

5.根据权利要求4所述的制备方法，其特征在于，所述复合薄膜为商用氮化硅窗口进行热蒸发的镀金膜。

6.根据权利要求4所述的制备方法，其特征在于，所述导电薄膜为金、银、铜、铝、镍、钛、铬中的一种或多种。

7.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，在S2中，对所述导电薄膜切割时采用离子束切割、紫外曝光或电子束曝光及刻蚀工艺进行。

8.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，在S2中，所述非封闭二维通透结构的形状根据最终制作三维器件的需求选择；

所述非封闭二维通透结构可以是四腿风车形状结构、三腿形风车形状结构、复合弧形结构中的任意一种。

9.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，在S3中，所述三维曲面微纳结构具有连续变化的曲面和三维扭曲特征。