[发明专利]柔性太阳能电池窗口层生产设备在审
申请号: | 201810615108.X | 申请日: | 2018-06-14 |
公开(公告)号: | CN108649007A | 公开(公告)日: | 2018-10-12 |
发明(设计)人: | 于金杰;罗明新;任宇航 | 申请(专利权)人: | 浙江尚越新能源开发有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L31/18;C23C14/34;C23C14/54;C23C14/56 |
代理公司: | 杭州华知专利事务所(普通合伙) 33235 | 代理人: | 张德宝 |
地址: | 311100 浙江省杭州市*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 柔性太阳能电池 溅射镀膜 铜罩 生产设备 窗口层 交叉污染 隔板 独立设置 防止材料 控制腔体 水汽 放卷辊 溅射室 冷却轴 收卷辊 开卷 下层 上层 中层 隔离 | ||
1.一种柔性太阳能电池窗口层生产设备,包括腔体,其特征是,所述腔体内一次设置有放卷辊、油温鼓、冷却轴和收卷辊,放卷辊、油温鼓、冷却轴和收卷辊间连接有传动辊,放卷辊、传动辊、油温鼓、冷却轴和收卷辊组成输送通道,输送通道上分布有铜罩A和多个铜罩B,铜罩A和多个铜罩B内分别设置有材料溅射室,多个铜罩B围绕油温鼓分布,腔体上设置有真空系统,腔体内通过隔板隔离成上层、中层和下层,三层间仅留输送通道的输送口,放卷辊和收卷辊设置于上层内,铜罩A和冷却轴设置于中层内,多个铜罩B设置于下层内。
2. 根据权利要求1所述的柔性太阳能电池窗口层生产设备,其特征是,所述真空系统包括粗抽泵组、分子泵、前级泵和冷泵, 采用多级抽真空,抽真空时将水蒸气吸附的颗粒进行抽出,保证腔体的洁净。
3.根据权利要求1所述的柔性太阳能电池窗口层生产设备,其特征是,所述冷却轴内连通循环冷却水管道,油温鼓内连通循环热油管道, 生产过程中对卷同步运行的油温鼓加热,保证太阳能电池板基底的生产温度一致,生产溅射完成后通过接触冷却轴表面进行快速的降温。
4.根据权利要求1所述的柔性太阳能电池窗口层生产设备,其特征是,所述腔体上层内设置有红外加热灯, 通过热电偶的温度反馈,控制红外加热灯的输出功率,处理生产前的太阳能电池板基底上吸附的水汽。
5.根据权利要求1所述的柔性太阳能电池窗口层生产设备,其特征是,所述输送通道上设置有张力辊和纠偏系统, 将张力和纠偏系统组合一起,保证卷面左右的平整,防止因卷的弯曲制造成卷膜层的损伤。
6.根据权利要求1所述的柔性太阳能电池窗口层生产设备,其特征是,所述腔体内安装设置有摄像头, 通过摄像头的安装,实时的反馈腔体内的生产情况,收放卷的位置和卷表面状况。
7.根据权利要求1所述的柔性太阳能电池窗口层生产设备,其特征是,所述放卷辊和收卷辊固定连接有同步电机。
8.根据权利要求1所述的柔性太阳能电池窗口层生产设备,其特征是,所述隔板为保温板。
9.根据权利要求1所述的柔性太阳能电池窗口层生产设备,其特征是,所述腔体连通有布气设备,布气设备通过管路与腔体连通,管路上连接有流量计,腔体连通有气体混合输入装置,气体混合输入装置通过的气体进行气体含量实时监测。
10.根据权利要求1所述的柔性太阳能电池窗口层生产设备,其特征是,所述腔体内输送通道处设置有方块电阻监控和开压监控, 增加方块电阻监控和模拟太阳光照,从而开压监控,再通过设备中PLC控制系统中的实时反馈,及时了解电池卷的状况。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造