[发明专利]柔性太阳能电池窗口层生产设备在审

专利信息
申请号: 201810615108.X 申请日: 2018-06-14
公开(公告)号: CN108649007A 公开(公告)日: 2018-10-12
发明(设计)人: 于金杰;罗明新;任宇航 申请(专利权)人: 浙江尚越新能源开发有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;H01L31/18;C23C14/34;C23C14/54;C23C14/56
代理公司: 杭州华知专利事务所(普通合伙) 33235 代理人: 张德宝
地址: 311100 浙江省杭州市*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 柔性太阳能电池 溅射镀膜 铜罩 生产设备 窗口层 交叉污染 隔板 独立设置 防止材料 控制腔体 水汽 放卷辊 溅射室 冷却轴 收卷辊 开卷 下层 上层 中层 隔离
【权利要求书】:

1.一种柔性太阳能电池窗口层生产设备,包括腔体,其特征是,所述腔体内一次设置有放卷辊、油温鼓、冷却轴和收卷辊,放卷辊、油温鼓、冷却轴和收卷辊间连接有传动辊,放卷辊、传动辊、油温鼓、冷却轴和收卷辊组成输送通道,输送通道上分布有铜罩A和多个铜罩B,铜罩A和多个铜罩B内分别设置有材料溅射室,多个铜罩B围绕油温鼓分布,腔体上设置有真空系统,腔体内通过隔板隔离成上层、中层和下层,三层间仅留输送通道的输送口,放卷辊和收卷辊设置于上层内,铜罩A和冷却轴设置于中层内,多个铜罩B设置于下层内。

2. 根据权利要求1所述的柔性太阳能电池窗口层生产设备,其特征是,所述真空系统包括粗抽泵组、分子泵、前级泵和冷泵, 采用多级抽真空,抽真空时将水蒸气吸附的颗粒进行抽出,保证腔体的洁净。

3.根据权利要求1所述的柔性太阳能电池窗口层生产设备,其特征是,所述冷却轴内连通循环冷却水管道,油温鼓内连通循环热油管道, 生产过程中对卷同步运行的油温鼓加热,保证太阳能电池板基底的生产温度一致,生产溅射完成后通过接触冷却轴表面进行快速的降温。

4.根据权利要求1所述的柔性太阳能电池窗口层生产设备,其特征是,所述腔体上层内设置有红外加热灯, 通过热电偶的温度反馈,控制红外加热灯的输出功率,处理生产前的太阳能电池板基底上吸附的水汽。

5.根据权利要求1所述的柔性太阳能电池窗口层生产设备,其特征是,所述输送通道上设置有张力辊和纠偏系统, 将张力和纠偏系统组合一起,保证卷面左右的平整,防止因卷的弯曲制造成卷膜层的损伤。

6.根据权利要求1所述的柔性太阳能电池窗口层生产设备,其特征是,所述腔体内安装设置有摄像头, 通过摄像头的安装,实时的反馈腔体内的生产情况,收放卷的位置和卷表面状况。

7.根据权利要求1所述的柔性太阳能电池窗口层生产设备,其特征是,所述放卷辊和收卷辊固定连接有同步电机。

8.根据权利要求1所述的柔性太阳能电池窗口层生产设备,其特征是,所述隔板为保温板。

9.根据权利要求1所述的柔性太阳能电池窗口层生产设备,其特征是,所述腔体连通有布气设备,布气设备通过管路与腔体连通,管路上连接有流量计,腔体连通有气体混合输入装置,气体混合输入装置通过的气体进行气体含量实时监测。

10.根据权利要求1所述的柔性太阳能电池窗口层生产设备,其特征是,所述腔体内输送通道处设置有方块电阻监控和开压监控, 增加方块电阻监控和模拟太阳光照,从而开压监控,再通过设备中PLC控制系统中的实时反馈,及时了解电池卷的状况。

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