[发明专利]柔性太阳能电池铜铟镓硒制造设备

权利要求书

1.一种柔性太阳能电池铜铟镓硒制造设备，包括腔体和控制单元，控制单元连接控制中心，腔体包括上腔体和下腔体，上腔体和下腔体压合密闭，其特征是，所述腔体内设置有机械传动单元、真空单元、加热单元、冷却单元和薄膜沉积源单元，机械传动单元包括放卷辊、收卷辊和若干传动辊，上腔体内转动连接放卷辊、收卷辊和若干传动辊，放卷辊和收卷辊末端固定连接伺服电机，放卷辊和收卷辊间若干传动辊连成输送通道，薄膜沉积源单元包括线性源盒和XRF检测装置，下腔体内对应输送通道分别设置有多个线性源盒，输送通道的中间位置和末端分别对应设置有XRF检测装置，加热单元包括加热器和温度传感器，输送通道上位于线性源盒对应位置分别设置有温度传感器，每个线性源盒上端开口，每个线性源盒内设置有线性源，每个线性源底部设置有加热器，控制单元通过导线连通伺服电机、XRF检测装置、温度传感器、加热器、真空单元和冷却单元。

2. 根据权利要求1所述的柔性太阳能电池铜铟镓硒制造设备，其特征是，所述真空单元包括扩散泵和机械泵组，腔体内设置抽真空口，扩散泵和机械泵组连通抽真空口，扩散泵和机械泵组通过导线连通控制单元, 在整个真空单元中，逐级对设备进行抽真空，处于高真空状态时，对每个区的真空度进行监控。

3.根据权利要求1所述的柔性太阳能电池铜铟镓硒制造设备，其特征是，所述扩散泵与腔体间设置有高压阀门。

4.根据权利要求1所述的柔性太阳能电池铜铟镓硒制造设备，其特征是，所述输送通道末端设置有机械从动的检测器，机械从动的检测器包括传动辊末端固定设置的半圆形固定块、探针、信号发送器和信号接收器，探针固定连通高频电源，探针末端搭接半圆形固定块，信号接收器连通半圆形固定块，信号接收器通过导线连通控制单元, 添加了机械从动的检测器，实时机械从动在线监控，利用高低电平的变化，检测传动的持续性，做到了对密闭环境的多样化监控，并且对卷对卷的张力和纠偏能自动纠正，做到了整个高温机械传动的稳定性。

5.根据权利要求1所述的柔性太阳能电池铜铟镓硒制造设备，其特征是，所述输送通道前端设置有速度传感器和张力传感器，速度传感器和张力传感器通过导线连通控制单元,利用速度传感器和张力传感器，对速度和张力进行在线监控和实时反馈，使用双闭环控制系统实时对卷对卷张力和速度进行调节，增加伺服器控制的稳定性。

6.根据权利要求1所述的柔性太阳能电池铜铟镓硒制造设备，其特征是，所述温度传感器在金属源加热时，通过对温度反馈进行在线监控，实时控制，在XRF检测各源厚度的同时，也会通过控制单元反馈于电脑，在电脑进行计算以后，会根据工艺设定值对各项反馈数据进行计算和PID调节，实现了金属源厚度和温度的自动控制。

7.根据权利要求1所述的柔性太阳能电池铜铟镓硒制造设备，其特征是，所述腔体内每个线性源盒处设置有离子规，离子规通过导线连通控制单元, 使用离子规及其控制单元，对每个区的Se蒸气压及真空度进行监控，反馈至电脑，使用PID调节每个区的蒸气压处于设定值，保证了每个区金属源的充分的硒化反应环境。

8.根据权利要求2所述的柔性太阳能电池铜铟镓硒制造设备，其特征是，所述冷却单元包括冷却水过滤装置，冷却水过滤装置设置于腔体内两边抽真空口处，冷凝过滤Se蒸气。

9.根据权利要求1所述的柔性太阳能电池铜铟镓硒制造设备，其特征是，位于太阳能电池板基底背面的输送通道内设置有加热板，加热板保持太阳能电池板基底处反应温度均匀。