[发明专利]一种窄带可调光学滤波器

权利要求书

1.一种窄带可调光学滤波器，其特征在于，包括MEMS反射镜、衍射光栅、第一反射镜、第二反射镜、第三反射镜；

所述MEMS反射镜，用于将输入光反射至所述衍射光栅；

所述衍射光栅为透射式，用于形成色散；

所述第一反射镜、第二反射镜和第三反射镜用于光反射；

输入光经所述MEMS反射镜反射、依次透过扩束结构、所述衍射光栅，形成一次色散光；再依次经所述第一反射镜、第二反射镜反射、再次透过所述衍射光栅形成二次色散光；再经第三反射镜反射后第三次透过所述衍射光栅，形成三次色散光；再依次经所述第二反射镜、第一反射镜反射、第四次透过所述衍射光栅，形成四次色散光；返回至所述MEMS反射镜；

所述MEMS反射镜，还用于将所述四次色散光反射为输出光、通过改变偏转角度实现波长选择。

2.如权利要求1所述窄带可调光学滤波器，其特征在于，还包含准直透镜，所述准直透镜位于所述MEMS反射镜和光纤输入输出端之间，用于对输入光准直；所述光纤输入输出端位于所述准直透镜前焦面上。

3.如权利要求2所述窄带可调光学滤波器，其特征在于，所述准直透镜为以下一种：单球面透镜、胶合透镜或非球面透镜。

4.如权利要求1所述窄带可调光学滤波器，其特征在于，还包含扩束结构；

所述扩束结构包含一个或多个棱镜，位于所述MEMS反射镜和所述衍射光栅之间，用于对来自所述MEMS反射镜的光扩束；

所述四次色散光反向经过所述扩束结构，返回至所述MEMS反射镜。

5.如权利要求4所述窄带可调光学滤波器，其特征在于，所述扩束结构为单棱镜、双棱镜或多棱镜。

6.如权利要求1所述窄带可调光学滤波器，其特征在于，所述扩束结构与由一个或多个单棱镜组成，所述单棱镜顶角为29.4°，玻璃材料为SF11。

7.如权利要求1所述窄带可调光学滤波器，其特征在于，所述衍射光栅为966线融石英透射光栅。

8.如权利要求1所述窄带可调光学滤波器，其特征在于，所述衍射光栅的入射角为45°，所述第一反射镜、第二反射镜与光栅平面夹角为68±2°范围内。

9.如权利要求5所述的窄带可调光学滤波器，其特征在于，所述扩束结构中的每一个棱镜，朝向衍射光栅的一面与光路垂直。