[发明专利]水洗式膜清洗设备

说明书

本发明涉及水洗式膜清洗设备，该水洗式膜清洗设备在以辊对辊方式制造诸如光学膜等膜的设备中清洗膜的表面，尤其涉及一种水洗式膜清洗设备，上述水洗式膜清洗设备在以湿式清洗膜的同时使膜表面的水分和污渍最小化，在此过程中可使噪音产生最小化。

技术领域

本发明涉及一种在以辊对辊(roll-to-roll)方式用于制造光学膜等膜的设备中清洗膜的表面的膜清洗设备，尤其涉及一种可利用湿法清洗膜的同时使膜表面的水分和污渍最小化，从而使在此过程中产生的噪音最小化的水洗式膜清洗设备。

背景技术

近年来，随着社会进入一个全面的信息时代，用于处理及显示大量信息的显示器(display)领域得到了迅速发展，并且针对此开发了多种平板显示装置。

这种平板显示装置的具体示例包括液晶显示装置(Liquid Crystal Displaydevice，LCD)、等离子体显示装置(Plasma Display Panel device，PDP)、场致发射显示装置(Field Emission Display device，FED)、电致发光显示装置(ElectroluminescenceDisplay device，ELD)等，这些平板显示装置具有薄型化、轻量化、低功耗化的优秀的性能，并且正在迅速代替现有的阴极射线管(Cathode Ray Tube，CRT)。

另一方面，为了表现出高质量的显示，这种平板显示装置包括各种光学膜或柔性电路基板(Flexible Printed Circuit Board)等，光学膜包括多种光学膜，例如用于背光的膜组(扩散膜、棱镜片、增亮膜等)、用于偏光板的膜组(偏光膜、偏光片保护膜)、用于校正液晶面板和偏光板的相位差的相位差膜等。

而且，柔性电路基板可以为具有用于电连接液晶面板和外部驱动电路的多个配线的印刷电路基板(PCB)、柔性印刷电路(FPC)或柔性印刷电路等。

近年来，这种光学膜或柔性电路基板(以下，称为膜)通过使用薄型的长条带状以辊对辊(roll to roll)方式解绕及卷绕卷(roll)来制造，以便节省时间和成本，从而在膜的输送过程中进行各种处理工序。

对这种膜进行各种机械或化学处理工序，例如蚀刻工序(Etching)、烘烤(Bake)工序等，在完成每一个这些工序后，进行去除各工序中所使用的药液或杂质等的清洗工序。

对于与这种清洗工序相关的技术，“膜清洗系统”(韩国授权专利公报第10-1216490号，专利文献1)中公开了在以辊对辊方式输送膜的过程中，使用清洗液、超声波等对行驶的膜进行清洗，并对清洗的膜进行干燥的技术。

清洗工序进行如下，将膜以辊对辊方式输送到处理区域被限定的槽的内部，槽内的处理区域形成有用于喷射高压的清洁干燥空气(CDA，Clean Dry Air)的气刀以便去除膜的残留药液。

然而，这种辊对辊方式的膜的清洗工序存在一些问题，作为其中一个，因清洗装置清洗完的膜中的药液成分而出现水滴状的污渍。

其原因在于，清洗工序中的气刀通过喷射高压的清洁干燥空气来去除膜的残留药液，但是清洗效率不足，从而产生药液漂浮在膜上的现象。

这种药液漂浮现象等导致膜上的水滴状污渍。

而且，这种药液漂浮现象降低后续干燥过程的效率，从而还导致处理时间(TactTime)增加的问题。

因此，导致工艺的效率降低的问题。

作为解决这种问题的技术，“基材表面的水分去除装置及利用其装置从基材表面去除水分的方法”(韩国公开专利公报第10-2017-0050619号，专利文献2)中还公开了，在以辊对辊方式输送沾有水分的基材的过程中，通过相反侧旋转的孔去除水分的技术。