[发明专利]一种基于溶液法同质外延MgO薄膜的制备方法

权利要求书

1.一种基于溶液法同质外延MgO薄膜的制备方法，具体步骤如下：

步骤1、配置MgO前驱液：在0.1mol/L的氯化镁溶液中加入各占其质量百分比2.5%~3%的二乙醇胺和二乙烯三胺，并混合均匀，得到MgO前驱液；

步骤2、将已沉积8-12nm的IBAD-MgO的哈氏合金基带装入卷绕轮（1）中，其一端从卷绕轮（1）中拉出依次引入转轮（1）、转轮（2）、加热装置、转轮（3）后接入卷绕轮（2）中；步骤1所得MgO前驱液置于溶液池；转轮（2）位于溶液池内以调转基带在溶液中的移动方向；

所述加热装置为两组电极，电流从正极流入，通过分流电阻均分成n股电流从不同位置流入金属带材，同样均分成n股电流从负极流出，n≥3；

步骤3、在加热装置对哈氏合金基带升温至500~600℃的条件下，卷绕轮（2）以100~150mm/min的速度牵引哈氏合金基带由卷绕轮（1）到转轮（1），然后经过溶液池蘸取溶液并经转轮（2）调转方向后，垂直进入加热装置，最后被收集至卷绕轮（2）；即可制得同质外延MgO薄膜。

2.如权利要求1所述基于溶液法同质外延MgO薄膜的制备方法，其特征在于：所述步骤1中MgO前驱液制备后，再向其中加入占氯化镁溶液质量百分比0.5%~1%的冰醋酸再进行后续步骤。