[发明专利]一种基于金属缝隙波导的光学相控阵芯片发射端在审
| 申请号： | 201810619456.4 | 申请日： | 2018-06-12 |
| 公开（公告）号： | CN108896977A | 公开（公告）日： | 2018-11-27 |
| 发明（设计）人： | 陆梁军;孙乾坤;周林杰;陈建平;厐拂飞 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学;上海大学 |
| 主分类号： | G01S7/481 | 分类号： | G01S7/481 |
| 代理公司： | 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 | 代理人： | 张宁展 |
| 地址： | 200240 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 金属等离子 缝隙波导 波导 介质光波导 光学相控阵 发射端 芯片 输出 波束偏转 穿透能力 光波模场 激光雷达 激光扫描 介质波导 金属缝隙 设计结构 整体呈现 逐渐减小 等离子 低损耗 光能 串扰 横置 减小 衍射 左端 漏斗 穿插 金属 发射 覆盖 应用 保证 | ||
【权利要求书】：
1.一种光学相控阵芯片发射端，其特征在于，采用介质光波导阵列和金属等离子缝隙波导阵列穿插相接，并且金属等离子缝隙波导阵列在芯片末端截断，组成芯片的发射端，光从芯片末端水平出射在远场形成光束。
2.根据权利要求1所述的一种基于金属等离子缝隙波导阵列的光学相控阵芯片发射端，其特征在于，由介质光波导阵列组成的部分，波导前端与相控阵模块相连接，波导末端形状为锥型，整体结构类似“扇形”，波导间隔由前往后逐渐减小。
3.根据权利要求1所述的一种基于金属等离子缝隙波导阵列的光学相控阵芯片发射端，其特征在于，由金属等离子缝隙波导阵列组成的部分，整体结构类似横置的“漏斗”，介质光波导右端和金属等离子缝隙波导左端穿插相接，使得光波由介质光波导耦合进金属等离子缝隙波导中传播。
4.根据权利要求1所述的一种基于金属等离子缝隙波导阵列的光学相控阵芯片发射端，其特征在于，金属等离子缝隙波导具有强光约束能力，有利于光波能量的汇聚，从而增大输出衍射角。同时，金属等离子缝隙波导的间距很小，有利于提高输出光的偏转角覆盖范围。
5.根据权利要求1所述的一种基于金属等离子缝隙波导阵列的光学相控阵芯片发射端，其特征在于，介质光波导可以采用硅、氮化硅或者氧化硅等材料，波导结构可以为条型或者脊型，金属等离子缝隙波导可以采用金、银、铜、铝等常见金属材料。
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