[发明专利]一种厚膜压电元件驱动的压电喷墨打印喷头

权利要求书

1.一种厚膜压电元件驱动的压电喷墨打印喷头，其特征在于，该打印喷头由多个腔室组成，腔室位于基底（3）上方；所述的腔室主要由供墨通道（11）、限流部（10）、压力产生腔（9）、引流部（8）和喷嘴（2）依次相连组成；

所述的供墨通道（11）是在基底（3）上掏空形成的倒L型通道，供墨通道（11）的另一端与墨盒相连，墨水在腔室内部流动；

所述的限流部（10）和引流部（8）为弯曲的管道结构，限流部（10）用于限制腔室内的墨水流量，引流部（8）用于引导腔室内的墨水的流动方向；引流部（8）的截面面积不小于限流部（10）的截面面积，使墨水流向引流部（8）；引流部（8）设有90°的转折，防止墨水回流；

所述的压力产生腔（9）由腔室壁（1）、驱动元件组成，所述的驱动元件从上到下依次由绝缘层（4）、上电极（6）、压电元件（5）和下电极（7）组成；

所述的腔室都是在所述基底上方进行制作，除了所述供墨通道（11）对应的基底部分被去除外，对基底其他部分不进行任何其他操作，驱动元件对应的基底部分保留，所述驱动元件处于非悬空状态。

2.根据权利要求1所述的一种厚膜压电元件驱动的压电喷墨打印喷头，其特征在于，所述的引流部（8）的第一边（q4）的长度范围为0.8um-8mm，引流部（8）的第一边（q4）与引流部（8）的第二边（q5）所夹圆角半径范围为0.8um-8mm，引流部（8）的第二边（q5）的长度范围为0.8um-8mm，引流部（8）的第三边（q6）的长度范围为0.8um-8mm，引流部（8）的第四边（q7）的长度范围为0.8um-8mm，引流部（8）的第三边（q6）与引流部（8）的第四边（q7）所夹圆角半径范围为0.8um-8mm，引流部（8）的M边（m）的长度范围为0.8um-8mm，引流部（8）的N边（n）的长度范围为0.8um-8mm，引流部（8）的R边（r）的长度范围为0.8um-8mm；引流部（8）的N边（n）与引流部（8）的第二边（q5）所夹圆角半径范围为0.8um-8mm。

3.根据权利要求1或2所述的一种厚膜压电元件驱动的压电喷墨打印喷头，其特征在于，所述的限流部（10）的A边（a）的长度范围为0.8um-8mm，限流部（10）的B边（b）的长度范围为0-8mm，限流部（10）的C边（c）的长度范围为0-9mm，限流部（10）的D边（d）的长度范围为0.9um-9mm，限流部（10）的E一边(e1)的长度范围为0.8um-8mm，限流部（10）的E二边（e2）与所述限流部的E三边（e3）所夹的圆角半径范围为0.8um-8mm，限流部（10）的E三边（e3）的长度范围为0.8um-8mm，限流部（10）的E四边（e4）的长度范围为0.8um-8mm，限流部（10）的E五边（e5）的长度范围为0.8um-8mm，限流部（10）的E三边（e3）与限流部（10）的F边（f）所夹的圆角半径范围为0.8um-8mm，限流部（10）的E四边（e4）与限流部（10）的E五边（e5）所夹的圆角半径范围为0.8um-8mm；限流部（10）的F边（f）的长度范围为0.8um-8mm，限流部（10）的G边（g）的长度范围为0.8um-8mm，限流部（10）的H边（h）的长度范围为0.8um-8mm，限流部（10）的I边（i）的长度范围为0.8um-8mm，限流部（10）的J边（j）的长度范围为0.8um-8mm，限流部（10）的K边（k）的长度范围为0-8mm，限流部（10）的L边（l）的长度范围为0.8um-8mm。

4.根据权利要求3所述的一种厚膜压电元件驱动的压电喷墨打印喷头，其特征在于，所述的限流部（10）的高度范围，即限流部（10）的U边（u）的长度范围为0.8um-8mm，压力产生腔（9）的高度范围，即压力产生腔（9）的U边（u）的长度范围为0.8um-8mm，引流部（8）的高度范围，即引流部（8）的U边（u）的长度范围为0.8um-8mm。

5.根据权利要求1所述的一种厚膜压电元件驱动的压电喷墨打印喷头，其特征在于，所述的腔室壁（1）的材质为硅或聚合物。