[发明专利]一种柱面面形干涉检测装置在审
| 申请号： | 201810624655.4 | 申请日： | 2018-06-16 |
| 公开（公告）号： | CN108534712A | 公开（公告）日： | 2018-09-14 |
| 发明（设计）人： | 周庆;王军华;孔令豹;徐敏 | 申请（专利权）人： | 复旦大学 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 上海正旦专利代理有限公司 31200 | 代理人： | 陆飞;陆尤 |
| 地址： | 200433 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 环形光线 平行光线 扩束 转换单元 准直单元 干涉仪 数据处理单元 检测装置 面形干涉 液晶屏幕 干涉图 柱面 发明装置结构 光束转换单元 圆柱体外表面 环形光束 面形检测 面形数据 面形信息 实时显示 返回 锥面镜 转换 面形 反射 紧凑 环线 会聚 携带 检测 | ||
【权利要求书】：
1.一种柱面面形干涉检测装置，其特征在于，包括4D干涉仪、光学扩束准直单元、环形光线转换单元、数据处理单元、五维精密调整装置、光学隔震平台、液晶屏幕；其中，4D干涉仪、光学扩束准直单元、环形光线转换单元及待测圆柱件同轴布置，且通过五维精密调整装置布置在光学隔振平台上；4D干涉仪与数据处理单元和液晶屏幕相连接；
其中，环形光线转换单元由一个45度锥面镜及两个环形90度内锥面镜和平行玻璃构成；平行玻璃双面镀有增透膜，45度锥面镜通过平行玻璃固定在环形光线转换单元中部；两个环形90度内锥面镜固定在平行玻璃两端部；
4D干涉仪发出的平行光经过光学扩束准直单元的扩束准直后到达环形光线转换单元，在环形光线转换单元中，平行光线通过45度锥面镜转换为环形发散光束，再通过两个环形内锥面镜折反形成360°环形光线，最后通过待测圆柱件反射后回到4D干涉仪中，形成干涉图并实时显示在液晶屏幕上，数据处理单元对干涉图进行处理，得到待测面的面形数据并显示在液晶屏幕中。
2.根据权利要求1所述的柱面面形干涉检测装置，其特征在于，所述五维精密调整装置设置在光学隔震平台上，该调整装置上设有4个调整部件，分别用于调整4D干涉仪、光学扩束准直单元、环形光线转换单元、待测圆柱件四个部件的同轴度。
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