[发明专利]一种硬质薄膜的制备方法

权利要求书

1.一种硬质薄膜的制备方法，其特征在于，其具体步骤为：

（1）将多孔氧化铝在硅溶胶中浸泡干燥，得纳米模板，将纳米模板固定在镀膜机中，在氧气气氛下，以二氧化钛为蒸发源，对纳米模板进行镀膜，得非对称纳米模板；

（2）将硬质合金打磨抛光后用丙酮超声清洗，再用无水乙醇超声清洗后吹干，渗氮处理，得预处理硬质合金；

（3）将预处理硬质合金置于离子镀膜机中，通过Ar⁺辉光放电效应进行溅射清洗；

（4）控制基材偏压为-300～-200V，以非对称纳米模板为靶材，溅射成膜，得硬质薄膜。

2.根据权利要求1所述的一种硬质薄膜的制备方法，其特征在于：步骤（1）所述的浸泡干燥处理为多孔氧化铝在硅溶胶中浸泡2～4h，取出，在100℃的烘箱中干燥1～2h。

3.根据权利要求1所述的一种硬质薄膜的制备方法，其特征在于：步骤（2）所述的渗氮处理步骤为：在压力为10～100Pa、温度为300～350℃、电压为400～700V下，渗氮处理2～3h。

4.根据权利要求1所述的一种硬质薄膜的制备方法，其特征在于：步骤（3）所述的溅射清洗条件为镀膜室的真空度为2×10^-3Pa，通入氮气至真空室为0.6～0.8Pa，弧电流为50～60A，基材温度为200～250℃，基材偏压-600～-800V。

5.根据权利要求1所述的一种硬质薄膜的制备方法，其特征在于：步骤（4）所述的溅射成膜条件为溅射功率为60～200W，沉积时间为10～20s，靶材与硬质合金之间的距离为25～30cm。