[发明专利]磁控介质阻挡放电阳极键合系统及方法

权利要求书

1.一种磁控介质阻挡放电阳极键合系统，其特征在于，包括：

工作台，所述工作台包括平行设置的第一电极和第二电极；

磁控模块，所述磁控模块产生周期变化的磁场，以促进所述第一电极和第二电极之间的粒子运动；

电源模块，所述电源模块与所述第一电极和第二电极电性连接；

加热装置，所述加热装置用于提供键合所需温度；

驱动装置，所述驱动装置与所述第一电极连接，所述驱动装置驱动所述第一电极在竖直方向的移动区域内上下移动。

2.如权利要求1所述的磁控介质阻挡放电阳极键合系统，其特征在于，所述磁控模块设置在所述第一电极和第二电极之间，所述磁控模块包括若干交错成对的电磁铁。

3.如权利要求1所述的磁控介质阻挡放电阳极键合系统，其特征在于，所述第一电极上放置有玻璃器件，所述第二电极上放置有硅器件。

4.如权利要求3所述的磁控介质阻挡放电阳极键合系统，其特征在于，所述移动区域包括第一位置和第二位置，所述第一位置位于所述第二位置的上方。

5.如权利要求4所述的磁控介质阻挡放电阳极键合系统，其特征在于，所述第一电极位于所述第一位置，所述玻璃器件和硅器件之间的放电间隙为10-6000μm。

6.如权利要求4所述的磁控介质阻挡放电阳极键合系统，其特征在于，所述第一电极位于所述第二位置，所述玻璃器件和硅器件相贴合。

7.一种磁控介质阻挡放电阳极键合方法，其特征在于，采用如权利要求1至6中任一项所述的磁控介质阻挡放电阳极键合系统，包括以下步骤：

设置所述磁控介质阻挡放电阳极键合系统的相关参数，通过所述驱动装置使所述第一电极位于所述第一位置，再通过所述磁控模块对所述玻璃器件和硅器件进行放电预处理，然后使所述第一电极位于所述第二位置，进行阳极键合。

8.如权利要求7所述的磁控介质阻挡放电阳极键合方法，其特征在于，具体包括以下步骤：

S1、设置工作台参数、加热参数、放电参数、键合参数、磁控模块电源参数；

S2、将所述玻璃器件和硅器件分别放置在所述第一电极和第二电极上；

S3、通过所述驱动装置驱动所述第一电极，以使所述第一电极位于所述第一位置，且所述玻璃器件和硅器件间的放电间隙为10-6000μm；

S4、通过所述磁控模块进行电磁强化，根据所述放电参数对所述玻璃器件和硅器件界面进行等离子体放电预处理；

S5、通过所述驱动装置驱动所述第一电极，以使所述第一电极位于所述第二位置，且所述玻璃器件和硅器件界面相互贴合；

S6、根据所述键合参数对所述玻璃器件和硅器件进行阳极键合。

9.如权利要求8所述的磁控介质阻挡放电阳极键合方法，其特征在于，所述工作台参数包括平台的运动速度、键合位置与系统原点之间的位置关系参数。