[发明专利]一种质谱检出限的检测装置及其检测方法

权利要求书

1.一种高精度质谱检出限的检测装置，其特征在于，包括：待测高精度质谱仪、真空腔室、金属细管、大气采样阀以及金属毛细管，其中，所述待测高精度质谱仪与所述真空腔室的第一端密封连接且所述待测高精度质谱仪的检测端伸入所述真空腔室内；所述真空腔室的第二端与所述大气采样阀的第一端密封连接；所述金属细管位于所述真空腔室内，其第一端与所述检测端连通，其第二端与所述大气采样阀的第一端连通；所述大气采样阀的第二端与所述金属毛细管的第一端连通；所述金属毛细管位于所述真空腔室外，其第二端处具有空气过滤器。

2.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述待测高精度质谱仪的检测端包括：离子源、质量分析器和检测器，其中，所述离子源为封闭式离子源，所述封闭式离子源与所述金属细管连通；所述检测器的底部为开放式结构，用于与所述真空腔室连通。

3.根据权利要求2所述的检测装置，其特征在于，所述金属细管为内径为1毫米、长度为100毫米的金属细管，所述金属细管与大气采样阀通过孔径为10μm限流小孔相连通。

4.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述金属毛细管为内径为150微米，长度为1米的金属毛细管，其外表面具有加热结构，包括加热器、加热器套以及温度传感器，用于对金属毛细管进行烘烤除气处理。

5.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述检测装置还包括：微调阀和隔膜泵，其中，所述微调阀的进气口与所述大气采样阀的第三端相连，所述微调阀的出气口与所述隔膜泵连通。

6.根据权利要求5所述的检测装置，其特征在于，所述真空腔室的外表面包裹有加热带，所述加热带用于真空腔室的烘烤除气处理。

7.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述检测装置还包括：干泵、分子泵以及真空计，其中，所述分子泵的第一端与所述真空腔室的第三端口连通，所述分子泵的第二端与所述干泵的第一端连通，所述干泵的第二端暴露于空气中，用于所述真空腔室内气体的排除；所述真空计与所述真空腔室的第四端口连通。

8.一种使用上述权利要求1-7任意一项所述的一种高精度质谱检出限的检测装置的检测方法，其特征在于，包括：

获取新鲜干燥的空气作为检测空气；

通过高精度质谱仪对所述检测空气中稀有气体的同位素进行检测，获得一个有效测试结果，从而根据所述有效测试结果对所述待测高精度质谱仪的检出限进行评估。

9.根据权利要求8所述的检测方法，其特征在于，所述检测方法还包括：在获取新鲜干燥的空气作为检测空气前，通过所述加热结构和所述加热带对所述检测装置进行烘烤除气处理，用于去除水气和碳氢化合物，并在烘烤除气处理后进行系统极限真空度和清洁度检测。

10.根据权利要求8所述的检测方法，其特征在于，所述检测方法还包括：在获取新鲜干燥的空气作为检测空气后，所述封闭离子源通过所述金属细管与大气采样阀内连通，获得检测空气，从而避免了所述真空腔室的本底干扰。