[发明专利]一种柔性神经电极以及柔性神经电极的植入方法

权利要求书

1.一种柔性神经电极，其特征在于，包括：

柔性衬底、柔性绝缘层以及位于所述柔性衬底和所述柔性绝缘层之间的导电层和磁性材料层；

其中，所述导电层包括至少一条导电线，所述导电线包括互连导线以及分别位于所述互连导线两端的记录位点和焊点；

所述柔性神经电极包括探针区、辅助区以及连接区，所述记录位点以及与所述记录位点连接的第一部分互连导线位于所述探针区，除所述第一部分互连导线之外的第二部分互连导线位于所述辅助区，所述焊点位于所述连接区；

所述磁性材料层包括多个磁性材料部，所述磁性材料部与所述第一部分互连导线一一对应，在所述柔性衬底和所述柔性绝缘层的层叠方向上，所述磁性材料部与对应所述第一部分互连导线层叠设置；

所述柔性绝缘层至少覆盖所述导电层和所述磁性材料层，所述柔性绝缘层上形成有至少一个通孔，所述通孔与所述记录位点一一对应，所述通孔贯穿所述柔性绝缘层露出对应所述记录位点；

所述探针区内的所述柔性衬底包括多个与所述导电线一一对应的条状结构；

磁场产生部件产生的磁力对所述柔性神经电极的探针区起到牵引作用。

2.根据权利要求1所述的柔性神经电极，其特征在于，所述柔性衬底的材料为聚酰亚胺、聚对二甲苯和SU8光刻胶中任意一种或任意至少两种的组合；

所述柔性衬底的厚度取值范围为0.5～4um。

3.根据权利要求1所述的柔性神经电极，其特征在于，所述柔性绝缘层的材料为聚酰亚胺、聚对二甲苯和SU8光刻胶中任意一种或任意至少两种的组合；

所述柔性绝缘层的厚度取值范围为0.5～4um。

4.根据权利要求1所述的柔性神经电极，其特征在于，所述导电层的材料为金、铂和铱中任意一种或任意至少两种的组合；

所述导电层的厚度取值范围为20～500nm。

5.根据权利要求1所述的柔性神经电极，其特征在于，所述导电线的数量大于1时，各所述导电线平行设置；

所述导电线的数量取值范围为1～500。

6.根据权利要求1所述的柔性神经电极，其特征在于，所述互连导线的宽度取值范围为2～100um。

7.根据权利要求1所述的柔性神经电极，其特征在于，所述柔性衬底和所述导电层之间设置有粘附层；

所述粘附层的材料为铬或钛；

所述粘附层的厚度取值范围为5～60nm。

8.根据权利要求1所述的柔性神经电极，其特征在于，所述磁性材料层位于所述导电层远离所述柔性衬底的一侧；

所述磁性材料层通过电镀工艺形成；

所述磁性材料层的材料为FeNi，FePt和CoPt中任意一种或任意至少两种的组合；

所述磁性材料层的厚度取值范围为0.5～4um。

9.根据权利要求8所述的柔性神经电极，其特征在于，所述电镀工艺中采用的温度取值范围为20～70℃，电镀时间取值范围为1～15min，电流密度取值范围为50～600A/m²。

10.根据权利要求1所述的柔性神经电极，其特征在于，所述磁性材料部的宽度取值范围为2～90um；

所述磁性材料部为条状或包括至少两个沿所述导电线延伸方向排布的分立子部。

11.根据权利要求1所述的柔性神经电极，其特征在于，所述条状结构的长度取值范围为1～15mm；

所述条状结构的宽度取值范围为5～100um；

所述条状结构的数量大于1时，相邻所述条状结构之间的间距取值范围为20～1000um。

12.根据权利要求1所述的柔性神经电极，其特征在于，所述记录位点的形状为圆形；

所述记录位点的直径取值范围为5～30um。