[发明专利]基于水泥基压电复合材料元件的全应力传感器的制备方法有效

专利信息
申请号: 201810637464.1 申请日: 2018-06-20
公开(公告)号: CN108831990B 公开(公告)日: 2020-04-24
发明(设计)人: 李应卫;姜清辉;马永力;丁绍华 申请(专利权)人: 武汉大学
主分类号: H01L41/23 分类号: H01L41/23;H01L41/257;H01L41/29;H01L41/337;H01L41/338
代理公司: 武汉科皓知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 42222 代理人: 张火春
地址: 430072 湖*** 国省代码: 湖北;42
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摘要:
搜索关键词: 基于 水泥 压电 复合材料 元件 应力 传感器 制备 方法
【权利要求书】:

1.一种基于水泥基压电复合材料元件的全应力传感器的制备方法,其特征是,包括:

第一步,制备d15模式的1-3型水泥基压电复合材料元件,具体包括:

(101)对压电陶瓷块进行极化;

(102)去掉压电陶瓷块的极化电极;

(103)利用切割机,将压电陶瓷块切割成若干均匀排列的陶瓷柱,获得压电陶瓷柱阵列,切割方向与极化方向垂直;

(104)将压电陶瓷柱阵列连底座置入模具内,将水泥基材浇注于模具中,浇注完成后,放入养护箱养护;

(105)养护完成后,取出坯体,切割掉底座,并对坯体进行抛磨;

(106)在坯体中垂直于切割方向的两相对表面制作工作电极,即获得陶瓷柱的体积占比为20%~80%的d15模式的1-3型水泥基压电复合材料元件,简记为d15模式元件;

第二步,制备d33模式的1-3型水泥基压电复合材料元件,具体包括:

(201)对压电陶瓷块进行极化;

(202)去掉压电陶瓷块的极化电极;

(203)利用切割机,将压电陶瓷块切割成若干均匀排列的陶瓷柱,获得压电陶瓷柱阵列,切割方向与极化方向平行;

(204)将压电陶瓷柱阵列连底座置入模具内,将水泥基材浇注于模具中,浇注完成后,放入养护箱养护;

(205)养护完成后,取出坯体,切割掉底座,并对坯体进行抛磨;

(206)在坯体中垂直于切割方向的两相对表面制作工作电极,即获得陶瓷柱的体积占比为20%~80%的d33模式的1-3型水泥基压电复合材料元件,简记为d33模式元件;

第三步,利用d15模式元件和d33模式元件制备全应力传感器,具体包括:

(301)将d15模式元件和d33模式元件的工作电极均通过导线引出;

(302)将三个d15模式元件和三个d33模式元件布置在立方体的水泥基体两两相邻的三个表面上,每一面上均布置一d33模式元件和一d15模式元件;三个d15模式元件的极化方向两两垂直,三个d33模式元件的极化方向也两两垂直;

(303)采用封装材料对布置于水泥基体上的d15模式元件和d33模式元件进行整体封装,并固化;

(304)采用屏蔽材料在封装层外制备屏蔽层;

(305)将与d15模式元件和d33模式元件的工作电极连接的导线连接屏蔽线,另外,屏蔽线还通过另一导线连接屏蔽层;

第一步和第二步中所用的水泥基材由水泥、粉煤灰和水混合而成,其中,粉煤灰和水泥的质量比为(0.05~0.5):1,水灰比为(0.2~0.7):1;

所述封装材料的配方包括环氧树脂、粉煤灰、水泥、固化剂和水,其中,环氧树脂、粉煤灰和水泥为主要封装材料,环氧树脂、粉煤灰和水泥的质量比为(0.5~1):(0.05~0.5):1,环氧树脂与固化剂的质量比为(1~4):1,水和主要封装材料的质量比为(0.2~0.7):1;

所述屏蔽材料的配方包括石墨粉、水泥和水,其中,石墨粉和水泥为主要屏蔽材料,石墨粉和水泥的质量比为(0.05~0.3):1,水和主要屏蔽材料的质量比为(0.2~0.7):1。

2.如权利要求1所述的基于水泥基压电复合材料元件的全应力传感器的制备方法,其特征是:

第一步和第二步中,在采用水泥基材浇注于模具前,在真空设备中对水泥基材进行抽真空处理;采用水泥基材浇注于模具的同时,对模具进行抽真空并振动。

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