[发明专利]喷嘴板、液体喷射头及液体喷射装置

权利要求书

1.一种喷嘴板，其特征在于，

在一个面侧开口有喷射液体的喷嘴，

在所述一个面侧形成有类金刚石碳膜层，

所述类金刚石碳膜层的表面具有由凹部分及凸部分构成的凹凸形状，

所述凸部分的与所述液体接触一侧的端部为顶端尖细的形状，

相邻的所述凸部分的与所述液体接触一侧的端部在与所述一个面交叉的高度方向上位置有所不同。

2.如权利要求1所述的喷嘴板，其特征在于，

所述类金刚石碳膜层的所述凹凸形状通过排列多个大小不同的粒子而形成。

3.如权利要求1所述的喷嘴板，其特征在于，

所述类金刚石碳膜层含有氟。

4.如权利要求1所述的喷嘴板，其特征在于，

所述类金刚石碳膜层的所述表面的算术平均粗糙度(Ra)在0.08μm以上且在1μm以下。

5.如权利要求1所述的喷嘴板，其特征在于，

在所述一个面侧形成有非晶层，

所述类金刚石碳膜层被层压在所述非晶层上。

6.一种液体喷射头，其特征在于，

具备权利要求1～5中任一项所述的喷嘴板。

7.一种液体喷射装置，其特征在于，

具备权利要求6所述的液体喷射头。