[发明专利]一种单晶电池片的表面微米纳米复合结构的制备方法有效
| 申请号： | 201810638896.4 | 申请日： | 2018-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN108807569B | 公开（公告）日： | 2020-02-14 |
| 发明（设计）人： | 王涛;洪布双;尹丙伟;杨蕾;张元秋 | 申请（专利权）人： | 通威太阳能(合肥)有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/0236 | 分类号： | H01L31/0236;H01L31/18;C30B33/10 |
| 代理公司： | 53113 昆明合众智信知识产权事务所 | 代理人： | 杨俊达 |
| 地址： | 230088 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 纳米复合结构 酸洗 制绒 单晶电池片 反射率 碱制绒 银离子 制备 单晶硅表面 金字塔绒面 表面复合 转换效率 单晶 黑硅 减小 坑洞 绒面 金字塔 电池 保证 | ||
1.一种单晶电池片的表面微米纳米复合结构的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
S1、碱制绒：采用碱制绒溶液对单晶电池片进行制绒，所述碱制绒溶液为NaOH、添加剂以及DIW的混合溶液，其中，NaOH浓度为7-9％，添加剂浓度为0.5-1％，温度控制为83-87℃，反应时间为12-15min，形成反射率为15-17％的金字塔绒面，且金字塔尺寸为5-10μm；
S2、酸洗一：采用HNO3溶液进行酸洗，所述HNO3溶液浓度为0.5-1％，温度控制为常温，酸洗时间为60-100s；
S3、银离子辅助制绒：采用辅助制绒溶液对单晶电池片进行制绒，所述辅助制绒液为HF、H2O2、含银添加剂以及DIW的混合溶液，其中，HF浓度为4-5％，H2O2浓度为25-30％，银离子含量为0.006-0.01mol/L，温度控制为33-37℃，反应时间为150-250s，形成直径为80-130nm、深度为150-200nm的纳米坑洞；
S4、脱银：采用脱银溶液进行脱银，所述脱银溶液为NH4OH、H2O2以及DIW的混合溶液，其中，NH4OH浓度为0.3-0.5％，H2O2浓度为3-5％，温度控制为常温，反应时间为100-150s；
S5、酸洗二：采用HF和HCl的混合溶液进行酸洗，其中，HF和HCl的浓度均在5-8％，温度控制为常温，反应时间为100-150s，使得单晶电池片的反射率控制在3-5％；
S6、烘干：将电池片进行烘干处理。
2.根据权利要求1所述的一种单晶电池片的表面微米纳米复合结构的制备方法，其特征在于：步骤S1至步骤S5的每一步完成后，均对单晶电池片进行一次DIW清洗。
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