[发明专利]电池极耳表面处理方法

权利要求书

1.一种电池极耳表面处理方法，其特征在于，将极耳清洗后进行等离子体刻蚀去除极耳表面的钝化层后，完成对极耳的表面处理；

所述极耳经超声清洗和去离子水清洗完成清洗过程，所述清洗包括以下步骤：

先将极耳放入酮类中超声清洗15～20min，再用去离子水冲洗后放入醇类溶液中超声清洗15～20min，然后取出再次用去离子水冲洗，之后放入去离子水中超声清洗7～12min，完成清洗过程；

所述等离子体刻蚀的工艺条件为：真空度为(2.8～3.5)×10^－3Pa，离子源电压为50～100V，通入惰性气体和刻蚀气体的混合气体，压强10～25Pa，基底偏压为－400～－800V，处理时间20～40min；

所述惰性气体和所述刻蚀气体的体积比为5：1～3：2。

2.根据权利要求1所述的电池极耳表面处理方法，其特征在于，所述清洗包括以下步骤：

先将极耳放入丙酮中超声清洗15～20min，再用去离子水冲洗后放入乙醇溶液中超声清洗15～20min，然后取出再次用去离子水冲洗，之后放入去离子水中超声清洗7～12min，完成清洗过程。

3.根据权利要求1所述的电池极耳表面处理方法，其特征在于，所述等离子体刻蚀的工艺条件为：真空度为(3.0～3.3)×10^－3Pa，离子源电压为60～90V，通入惰性气体和刻蚀气体的混合气体，压强15～20Pa，基底偏压为－500～－700V，处理时间30～40min。

4.根据权利要求1所述的电池极耳表面处理方法，其特征在于，所述惰性气体包括氩气、氦气、氖气或氙气。

5.根据权利要求1所述的电池极耳表面处理方法，其特征在于，所述刻蚀气体包括O₂、CF₄、H₂或N₂中的任一项或几种的组合。

6.根据权利要求1－5任一项所述的电池极耳表面处理方法，其特征在于，所述极耳的材质为铝、镍或铜镀镍。