[发明专利]一种同位素靶件氦质谱泄漏检测装置及检测方法

权利要求书

1.一种同位素靶件氦质谱泄漏检测装置，其特征在于，所述装置包括：

压氦系统和检漏系统，压氦系统包括内靶管压氦容器，内靶管压氦容器一端与电磁阀上端连接；电磁阀下端与四通管一端和波纹管一端均连接，四通管另外三端分别连接同位素靶件压氦容器、氦气瓶和空压机，氦气瓶和空压机的连通管上均设有电磁阀；波纹管另一端与同位素靶件压氦容器连接；

检漏系统包括：第一内靶管检漏容器、第二内靶管检漏容器和同位素靶件检漏容器，第一内靶管检漏容器、第二内靶管检漏容器的一端均通过电磁阀与三通管的两端连接，三通管的另一端通过氦质谱检漏仪连接口与氦质谱检漏仪连接；同位素靶件检漏容器上设有3个KF接头，其中一个KF接头用于连接氦质谱检漏仪，氦质谱检漏仪用于对同位素靶件进行氦质谱泄漏检测；其中一个KF接头用于连接真空计，真空计实时显示真空度；其中一个KF接头用于连接标准漏孔，标准漏孔用于对检漏系统进行校准。

2.根据权利要求1所述的同位素靶件氦质谱泄漏检测装置，其特征在于，内靶管压氦容器内安装有吊篮，吊篮用于放置内靶管。

3.根据权利要求1所述的同位素靶件氦质谱泄漏检测装置，其特征在于，内靶管压氦容器另一端安装有旋转手柄，旋转手柄上安装有密封圈，通过旋转手柄挤压密封圈实现内靶管压氦容器的密封，内靶管压氦容器上安装有压力表。

4.根据权利要求1所述的同位素靶件氦质谱泄漏检测装置，其特征在于，同位素靶件压氦容器一端安装有旋转手柄，旋转手柄上安装有密封圈，通过挤压密封圈实现同位素靶件压氦装置密封；同位素靶件压氦容器上安装有压力表。

5.根据权利要求1所述的同位素靶件氦质谱泄漏检测装置，其特征在于，第二内靶管检漏容器上安装有真空计。

6.根据权利要求1所述的同位素靶件氦质谱泄漏检测装置，其特征在于，第一内靶管检漏容器、第二内靶管检漏容器的另一端均安装有旋转手柄，手柄上安装有密封圈，通过挤压密封圈实现内靶管检漏容器密封。

7.根据权利要求1所述的同位素靶件氦质谱泄漏检测装置，其特征在于，同位素靶件检漏容器一端安装有旋转手柄，旋转手柄上安装有密封圈，通过挤压密封圈实现同位素靶件检漏容器密封。

8.一种基于权利要求1-7中任一所述的同位素靶件氦质谱泄漏检测装置的检测方法，其特征在于，所述检测方法包括：

内靶管泄漏检测时，首先将内靶管放入内靶管压氦容器吊篮内，通过旋转手柄密封内靶管，打开压氦容器电磁阀，打开氦气源，氦气进入内靶管压氦容器，内靶管压氦容器的压力达标时，关闭压氦容器电磁阀和氦气源，保压预设时间；保压完成后，打开氦气排放口处的电磁阀，将氦气排出；打开空压机连接处的电磁阀，启动空压机，压缩空气进入内靶管压氦容器，空气吹拂内靶管表面预设时间，对内靶管表面吸附氦进行清除，氦气沿着排放口排除，关闭氦气排放口处的电磁阀；打开内靶管压氦容器，转移吊篮内的内靶管至内靶管检漏容器行氦质谱泄漏检测，若第一内靶管检漏容器内内靶管未泄漏，则本批次内靶管合格；若第一内靶管检漏容器内内靶管存在泄漏，则关闭第一内靶管检漏容器的电磁阀，取检测数量的1/2放入第二内靶管检漏容器，对第二内靶管检漏容器内靶管进行氦质谱泄漏检测；若第二内靶管检漏容器内内靶管不存在泄漏，第二内靶管检漏容器内靶管合格；若第二内靶管检漏容器内内靶管存在泄漏，继续取出其数量的1/2放入第一内靶管检漏容器，重复上述方法，进行泄漏检测至找到破损内靶管；若第一内靶管检漏容器、第二内靶管检漏容器内靶管同时存在泄漏，则将第二内靶管检漏容器内的内靶管数量的1/2放入第一内靶管检漏容器，直至第二内靶管检漏容器内内靶管全部检漏完毕，然后对第一内靶管检漏容器内内靶管进行泄漏检测至第一内靶管检漏容器内内靶管检漏完毕。

9.一种基于权利要求1-7中任一所述的同位素靶件氦质谱泄漏检测装置的检测方法，其特征在于，所述检测方法包括：

同位素靶件进行泄漏检测时，首先安装标准漏孔，测量同位素靶件检漏系统的可靠性，测量完成后，关闭标准漏孔，将同位素靶件放入同位素靶件检漏容器旋转手柄密封同位素靶件，对同位素靶件进行氦质谱泄漏检测，若存在泄漏，则靶件报废；若不存在泄漏，且加工时压氦完成到泄漏检测时间不超过预设时间，直接对靶件进行氦质谱泄漏检测；若时间超过预设时间，需要将同位素靶件放入同位素靶件压氦容器中进行压氦试验，压氦完成后，高压气体吹拂靶件表面预设时间至表面吸附氦已完全清除，将靶件放入同位素靶件检漏容器再次进行氦质谱泄漏检测。