[发明专利]薄片产品键合后解键合用的工作台及装夹方法

权利要求书

1.一种薄片产品键合后解键合用的工作台，它包括载台(1)，其特征在于：所述载台(1)上设有基准面(2)和至少一个吸盘组(3)，当产品(4)置于载台(1)上时所述吸盘组(3)先于基准面(2)碰触产品(4)且与产品(4)的背面(4.1)吸合，所述吸盘组(3)带动吸合于吸盘组(3)上的产品(4)朝向基准面(2)所在位置移动至所述产品(4)的背面(4.1)与基准面(2)抵靠。

2.根据权利要求1所述的薄片产品键合后解键合用的工作台，其特征在于：所述吸盘组(3)包括由弹性材质制成的若干真空吸嘴(3.1)，所述真空吸嘴(3.1)沿自身长度方向的一端安装于载台(1)上，所述真空吸嘴(3.1)的另一端设有开口(3.2)，用于与产品(4)的背面(4.1)贴合。

3.根据权利要求2所述的薄片产品键合后解键合用的工作台，其特征在于：所述载台(1)上设有一工作台面，所述吸盘组(3)和基准面(2)均位于载台(1)的工作台面上。

4.根据权利要求3所述的薄片产品键合后解键合用的工作台，其特征在于：所述载台(1)的工作台面上位于各真空吸嘴(3.1)所对应的位置均设有容置槽(5)，各真空吸嘴(3.1)分别安装于各自对应的容置槽(5)内，且各真空吸嘴(3.1)的开口(3.2)均露置于容置槽(5)外。

5.根据权利要求4所述的薄片产品键合后解键合用的工作台，其特征在于：所述载台(1)内设有升降机构，各真空吸嘴(3.1)远离开口(3.2)的端部安装于升降机构的活动端上，所述升降机构的活动端带动全部的真空吸嘴(3.1)沿容置槽(5)的槽深方向移动，以使得所述真空吸嘴(3.1)的开口(3.2)露置于容置槽(5)外或收纳至容置槽(5)内。

6.根据权利要求1至5中任意一项所述的薄片产品键合后解键合用的工作台，其特征在于：所述吸盘组(3)为多个，全部的吸盘(3)沿基准面(2)的周向间隔设置，所述基准面(2)上设有若干间隔设置的小孔(2.1)，所述载台(1)内设有与各小孔(2.1)连通的吸气管，所述小孔(2.1)内的空气经吸气管抽离，以使得靠近基准面(2)或贴合于基准面(2)上的产品(4)与基准面(2)之间形成相互吸合的作用力。

7.根据权利要求2至5中任意一项所述的薄片产品键合后解键合用的工作台，其特征在于：全部的真空吸嘴(3.1)均匀分布于载台(1)上，且所述基准面(2)延伸至任意相邻的两个真空吸嘴(3.1)之间。

8.根据权利要求1所述的薄片产品键合后解键合用的工作台，其特征在于：所述载台(1)上设有一工作台面，所述吸盘组(3)和基准面(2)均位于载台(1)的工作台面上。

9.根据权利要求1所述的薄片产品键合后解键合用的工作台，其特征在于：所述载台(1)上对应于各吸盘组(3)的位置均设有相应的容置槽(5)，各吸盘组(3)分别安装于各自对应的容置槽(5)内，且所述吸盘组(3)可沿容置槽(5)的轴向伸缩，以使得吸盘组(3)露置于容置槽(5)外或收缩至容置槽(5)内。

10.一种薄片产品的装夹方法，包括上述权利要求1至7中任意一项的工作台，其特征在于：包括以下步骤：

S1、将待解键合的产品(4)置于载台(1)上，且位于载台(1)上的吸盘组(3)托举产品(4)，以使得所述产品(4)悬置于载台(1)上方；

S2、吸盘组(3)与产品(4)的背面(4.1)吸合；

S3、与步骤S2同步或在步骤S2之后所述吸盘组(3)驱使吸合于吸盘组(3)上的产品(4)朝载台(1)所在位置移动，以使得所述产品(4)的背面(4.1)与载台(1)上的基准面(2)相抵靠。