[发明专利]一种独立式晶圆检选机进料机构及检选机

说明书

本发明公开了一种独立式晶圆检选机进料机构及检选机，包括连接机构与限位机构，所述连接机构包括送料机，所述送料机一端通过卡合方式设有滑板，所述滑板朝向送料机的一端设有卡块，且所述送料机侧面设有与卡块相适配的固定槽，所述滑板表面两侧设有挡板b，所述挡板b底部相对于卡块侧面通过螺栓连接设有紧固螺栓；通过在送料机一端设有滑板，通过伸缩板的伸缩效果，便于送料机与不同规格的检选机进行连接，避免了因送料机与检选机的规格不符，导致晶圆在运送的过程中掉落，有效的为使用者降低成本，并且提高了送料机的工作效率，通过在送料机顶部设有限位输送带，利用限位槽对晶圆的限位效果，有效的提高了晶圆在运送过程中的稳定性。

技术领域

本发明属于输送机技术领域，具体涉及一种独立式晶圆检选机进料机构及检选机。

背景技术

输送机的历史悠久，中国古代的高转筒车和提水的翻车，是现代斗式提升机和刮板输送机的雏形。带式输送机是当前散状物料输送的主要方式。现代化的输送机系统对防尘具有更高的要求，为此，在各转接处设有洒水集尘的装置，在胶带输送机沿线会设有防风罩或挡风板，系统是由单机组成的，对在整机系统中工作的操作和修理者来说，既要立足于自己分管的单机，又要了解系统间的相互联系，单机又是由许多部件组成的，只有做好各个部件的日常维护保养，使其处于良好的工作状态，才能确保设备的安全运行，现有的晶圆检选机输送机可输送八英寸晶圆与十二英寸晶圆。

然而现有的晶圆检选机进料机构在使用的过程中仍存在一些不足之处，现有的晶圆检选机进料机构在使用时：

1.现有的圆晶检选机进料机构在使用的过程中，对于不同规格的圆晶检选机，不便于送料机构平稳的将圆晶输送到圆晶检选机合适的位置，在输送的过程中可能使得圆晶散落，甚至因坠落导致圆晶质量受损，不仅影响送料机构的工作效率，还增加了使用负担。

2.现有的圆晶检选机进料机构在使用的过程中，因为晶圆为圆状物体且规格较小，使得晶圆在运送的过程中会产生位移，并堆积在一起，使得晶圆检选机在进行检选工作时较为麻烦，降低了晶圆检选机的工作效率。

发明内容

本发明的目的在于提供一种独立式晶圆检选机进料机构及检选机，以解决上述背景技术中提出现有的圆晶检选机进料机构在使用的过程中，对于不同规格的圆晶检选机，不便于送料机构平稳的将圆晶输送到圆晶检选机合适的位置，在输送的过程中可能使得圆晶散落，甚至因坠落导致圆晶质量受损，不仅影响送料机构的工作效率，还增加了使用负担，现有的圆晶检选机进料机构在使用的过程中，因为晶圆为圆状物体且规格较小，使得晶圆在运送的过程中会产生位移，并堆积在一起，使得晶圆检选机在进行检选工作时较为麻烦，降低了晶圆检选机的工作效率的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种独立式晶圆检选机进料机构及检选机，包括连接机构与限位机构，所述连接机构包括送料机，所述送料机一端通过卡合方式设有滑板，所述滑板朝向送料机的一端设有卡块，且所述送料机侧面设有与卡块相适配的固定槽，所述滑板表面两侧设有挡板b，所述挡板b底部相对于卡块侧面通过螺栓连接设有紧固螺栓，所述滑板背离卡块的一端设有连接板，所述连接板一端相对于滑板内部设有伸缩板，所述送料机顶部两侧边缘处设有挡板a，所述送料机一侧外部通过螺栓固定有电动机箱，所述送料机底部四角设有送料机支架，所述连接板一侧设有检选机，且所述连接板底部相对于检选机一侧设有工作台，所述工作台一侧相对于检选机表面设有按钮。

优选的，所述限位机构包括限位输送带，所述限位输送带内部通过螺栓连接设有若干个橡胶带，且所述限位输送带有若干个橡胶带组合而成，所述橡胶带表面设有一体式结构的限位槽，所述橡胶带之间设有连接片，所述连接片表面设有一体式结构的螺栓孔。

优选的，所述伸缩板的外壁与滑板的内壁相接，所述紧固螺栓共两个，处于滑板的两侧，位置相互对应，且所述紧固螺栓可通过顺时针旋转挤压伸缩板侧面。

优选的，所述限位输送带由二十个橡胶带连接而成，且所述橡胶带之间为无缝连接。