[发明专利]由部件、尤其电子部件和玻璃或玻璃陶瓷材料构成的组件

权利要求书

1.一种组件，其由部件和玻璃或玻璃陶瓷材料构成，其中

-所述部件具有第一膨胀系数α1；

-所述玻璃或玻璃陶瓷材料具有第二膨胀系数α2；

-所述玻璃或玻璃陶瓷材料具有表面和WARP，所述表面具有厚度和所述表面内的厚度偏差TTV以及厚度波动LTV；

-由部件和所述玻璃或玻璃陶瓷材料构成的所述组件在所述玻璃或玻璃陶瓷材料中具有残留应力，

其特征在于，

-所述组件的特征在于几何方面和材料物理方面的相容率

KG=10·（α1/α2）·（（1-（LTV/1.5））+（1-（TTV/7））+（1-（WARP/200））），

并且KG总是≥4。

2.根据权利要求1所述的组件，其特征在于，所述部件是电子部件。

3.根据权利要求1所述的组件，其特征在于，所述部件是基底。

4.根据权利要求1所述的组件，其特征在于，所述部件是电子基底。

5.根据权利要求1所述的组件，其特征在于，所述部件是晶片。

6.根据权利要求1所述的组件，其特征在于，所述KG总是≥15。

7.根据权利要求1所述的组件，其特征在于，所述KG总是≥30。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的组件，其特征在于，

所述部件的所述第一膨胀系数α1大于或等于所述玻璃或玻璃陶瓷材料的所述第二膨胀系数α2。

9.根据权利要求8所述的组件，其特征在于，

所述部件的所述第一膨胀系数α1最大是所述玻璃或玻璃陶瓷材料的所述第二膨胀系数α2的三倍。

10.根据权利要求1至7中任一项所述的组件，其特征在于，

所述玻璃或玻璃陶瓷材料在所述表面内的厚度偏差TTV10 µm。

11.根据权利要求1至7中任一项所述的组件，其特征在于，

所述玻璃或玻璃陶瓷材料在所述表面内的厚度偏差TTV 7 µm。

12.根据权利要求1至7中任一项所述的组件，其特征在于，

在25 mm²或更小的面积上，所述玻璃或玻璃陶瓷材料的局部厚度波动LTV 5 µm。

13.根据权利要求1至7中任一项所述的组件，其特征在于，

在25 mm²或更小的面积上，所述玻璃或玻璃陶瓷材料的局部厚度波动LTV 2 µm。

14.根据权利要求1至7中任一项所述的组件，其特征在于，

对于直径为6′′的组合部件来说，所述玻璃或玻璃陶瓷材料中的WARP300 µm。

15.根据权利要求1至7中任一项所述的组件，其特征在于，

对于直径为6′′的组合部件来说，所述玻璃或玻璃陶瓷材料中的WARP≤200 µm。

16.根据权利要求1至7中任一项所述的组件，其特征在于，

所述部件包括选自硅、钽酸锂、铌酸锂、四硼酸锂、玻璃、陶瓷、碳化硅、氮化镓、砷化镓、磷化铟、蓝宝石和石英构成的组中的一种或多种材料。

17.根据权利要求1至7中任一项所述的组件，其特征在于，

所述玻璃材料是

- 钠钙玻璃

- 硼硅酸盐玻璃

- 无碱铝-硼硅酸盐玻璃。