[发明专利]带有柔性放大机构的基于SOQ石英振梁加速度计芯片

权利要求书

1.一种带有柔性放大机构的基于SOQ石英振梁加速度计芯片，其特征在于：包括键合的石英结构(1)和硅结构(2)；

所述的石英结构(1)为石英框架(3)、石英音叉(4)、连接杆(5)、杠杆(6)、铰链(7)、质量块(8)、输入端(9)和刻蚀间隙(10)构成的平面内差动式石英振梁芯片结构，其中石英框架(3)作为整体结构的支撑部分和与硅结构的键合部分，为石英结构(1)的固定部分，其余为悬空可动结构；石英音叉(4)一端固定在石英框架(3)上，另一端与连接杆(5)相连，并通过杠杆(6)、输入端(9)与质量块(8)相连；杠杆(6)通过铰链(7)与石英框架(3)相连，连接杆(5)、杠杆(6)、铰链(7)、输入端(9)共同组成微杠杆放大机构；

所述的硅结构(2)由硅框架(11)和释放槽(12)组成，硅框架(11)为整体结构的支撑结构，释放槽(12)为石英可动结构释放区域；

所述的石英框架(3)和硅框架(11)完全键合到一起；所述的石英结构(1)中石英音叉(4)、连接杆(5)、杠杆(6)、铰链(7)、质量块(8)、输入端(9)和刻蚀间隙(10)完全悬空于硅结构(2)的释放槽(12)上。

2.根据权利要求1所述的一种带有柔性放大机构的基于SOQ石英振梁加速度计芯片，其特征在于：所述硅结构(2)与石英结构(1)整体长*宽尺寸相同，硅框架(11)与石英框架(3)尺寸相同。

3.根据权利要求1所述的一种带有柔性放大机构的基于SOQ石英振梁加速度计芯片，其特征在于：所述的石英音叉(4)采用石英音叉梁(4-1)或变截面梁(4-2)，在整体结构不变的情况下，石英音叉(4)中心对称分布，石英音叉梁(4-1)包括两端的第一隔振连接块a和两根音叉振梁b，变截面梁(4-2)包括两端的第二隔振连接块d和两根变截面振梁c。

4.根据权利要求1所述的一种带有柔性放大机构的基于SOQ石英振梁加速度计芯片，其特征在于：所述的石英结构(1)整体长*宽在8000mm*8000mm以内，厚度为20-50um，石英框架(3)宽度在500-800um范围内，石英音叉(4)的长度在1600-3000mm范围内，石英音叉(4)的每根振梁宽度在30-70um范围内，杠杆(6)的宽度在100-400um范围内，刻蚀间隙(10)的宽度在100-300um范围内，石英结构(1)上的其他结构大小视已确定尺寸而定。

5.根据权利要求1所述的一种带有柔性放大机构的基于SOQ石英振梁加速度计芯片，其特征在于：所述的带有柔性放大机构的基于SOQ石英振梁加速度计芯片整体结构垂直方向完全中心对称，敏感方向为沿石英振梁长度方向。