[发明专利]一种加速度传感器

权利要求书

1.一种加速度传感器，其特征在于，包括外壳上部(1)、弹簧悬臂(6)、外壳下部(2)及弹簧片(3)，其中，弹簧片(3)固定于外壳上部(1)与外壳下部(2)之间，弹簧片(3)为环形结构，弹簧悬臂(6)的一端固定于弹簧片(3)的内壁上，弹簧悬臂(6)的另一端设置有惯性质量永磁铁(4)，外壳上部(1)的顶部中心位置处安装有霍尔元件(5)，弹簧片(3)、外壳上部(1)及外壳下部(2)围成的腔体内填充有磁流体。

2.根据权利要求1所述的加速度传感器，其特征在于，惯性质量永磁铁(4)位于弹簧片(3)的中间弹性位移处。

3.根据权利要求1所述的加速度传感器，其特征在于，外壳上部(1)、外壳下部(2)及弹簧片(3)通过螺钉固定。

4.根据权利要求1所述的加速度传感器，其特征在于，弹簧悬臂(6)为直臂结构或者弯臂结构。

5.根据权利要求1所述的加速度传感器，其特征在于，惯性质量永磁铁(4)为实心圆柱形永磁铁、实心方形永磁铁或带孔永磁铁。

6.根据权利要求1所述的加速度传感器，其特征在于，惯性质量永磁铁(4)的数量为一个或多个。

7.根据权利要求1所述的加速度传感器，其特征在于，磁流体由基载液及悬浮颗粒组成，其中，基载液为煤油基、柴油基及脂基中的一种或几种按任意比例混合的混合物，悬浮颗粒为铁磁性纳米颗粒。

8.根据权利要求1所述的加速度传感器，其特征在于，霍尔元件(5)为线性霍尔元件，其中，霍尔元件(5)的输出电压与其所在磁场的强度成正比。

9.根据权利要求1所述的加速度传感器，其特征在于，弹簧悬臂(6)的数量为一个或者多个。