[发明专利]一种声表面波单端对谐振器有效
| 申请号： | 201810653646.8 | 申请日： | 2018-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN108933579B | 公开（公告）日： | 2020-11-06 |
| 发明（设计）人： | 刘建生;齐晓琳;何世堂 | 申请（专利权）人： | 中国科学院声学研究所 |
| 主分类号： | H03H9/25 | 分类号： | H03H9/25;H03H9/02 |
| 代理公司： | 北京亿腾知识产权代理事务所(普通合伙) 11309 | 代理人： | 陈霁 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 表面波 谐振器 | ||
1.一种声表面波单端对谐振器，包括：压电基片(11)、第一叉指换能器(12)、第一反射栅(13)和第二反射栅(14)；所述第一叉指换能器(12)设置在所述压电基片(11)上，所述第一反射栅(13)和所述第二反射栅(14)的结构相同，且对称的设置在所述第一叉指换能器(12)的两端；其特征在于，还包括：敏感膜(15)和第二叉指换能器(16)；
所述第二叉指换能器(16)设置在所述第一反射栅(13)和所述第二反射栅(14)之间，所述第二叉指换能器(16)与所述第一叉指换能器(12)的上下回流条(122)相连接；所述敏感膜(15)设置在所述第一叉指换能器(12)和所述第二叉指换能器(16)的中间位置。
2.根据权利要求1所述的声表面波单端对谐振器，其特征在于，所述第一叉指换能器(12)和所述第二叉指换能器(16)结构相同，反对称放置。
3.根据权利要求1所述的声表面波单端对谐振器，其特征在于，所述第二叉指换能器(16)设置在所述第一叉指换能器(12)和所述第二反射栅(14)之间。
4.根据权利要求1所述的声表面波单端对谐振器，其特征在于，所述敏感膜(15)沉积在所述第一叉指换能器(12)与所述第二叉指换能器(16)的上下回流条(122)相连接构成的区域内，且不接触所述第一叉指换能器(12)和所述第二叉指换能器(16)。
5.根据权利要求1所述的声表面波单端对谐振器，其特征在于，所述第一叉指换能器(12)和所述第二叉指换能器(16)产生的左右声波叠加后，能量集中在所述敏感膜(15)区域内。
6.根据权利要求1所述的声表面波单端对谐振器，其特征在于，所述敏感膜(15)为导电性敏感膜和高粘滞性敏感膜。
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