[发明专利]移动体支承装置、包含其的真空蒸镀装置及蒸镀方法

权利要求书

1.一种真空蒸镀装置，其特征在于，包括：

真空腔室；

移动体，所述移动体能够移动地设置在所述真空腔室内；及

旋转移动部，所述旋转移动部配置在构成所述真空腔室的面与所述移动体之间，一端部连结于所述移动体，另一端部能够转动地连结于构成所述真空腔室的面，且在沿着所述转动的轴的方向上能够相对移动，

构成所述真空腔室的面具有开口，

所述旋转移动部具有通过所述开口而与所述真空腔室的外部连通的中空部分，

所述真空蒸镀装置包括力赋予机构，所述力赋予机构设置在所述旋转移动部的所述另一端部侧，在沿着所述转动的轴的方向且从所述真空腔室的内侧朝向外侧的方向上对所述旋转移动部提供力。

2.根据权利要求1所述的真空蒸镀装置，其特征在于，

所述真空蒸镀装置还包括移动限制机构，所述移动限制机构限制由所述力赋予机构产生的所述旋转移动部的移动范围。

3.根据权利要求2所述的真空蒸镀装置，其特征在于，

所述旋转移动部包括旋转轴部，所述旋转轴部插入到在构成所述真空腔室的面上形成的所述开口内，

所述移动限制机构包括限动件，所述限动件在从与所述旋转轴部连接的所述真空腔室的底面至比所述旋转轴部的下表面靠下的位置处，形成于所述开口的中心侧。

4.一种真空蒸镀装置，其特征在于，包括：

真空腔室；

移动体，所述移动体能够移动地设置在所述真空腔室内；及

旋转移动部，所述旋转移动部配置在构成所述真空腔室的面与所述移动体之间，一端部连结于所述移动体，另一端部能够转动地连结于构成所述真空腔室的面，且在沿着所述转动的轴的方向上能够相对移动，

构成所述真空腔室的面具有开口，

所述旋转移动部具有通过所述开口而向大气开放的中空部分，

所述真空蒸镀装置包括力赋予机构，所述力赋予机构设置在所述旋转移动部的所述另一端部侧，对所述旋转移动部提供与下述压力相反方向的力，所述压力是作用于与向大气开放的所述开口相向的所述旋转移动部的内表面上的压力。

5.根据权利要求4所述的真空蒸镀装置，其特征在于，

所述真空蒸镀装置还包括移动限制机构，所述移动限制机构限制由所述力赋予机构产生的所述旋转移动部的移动范围。

6.根据权利要求5所述的真空蒸镀装置，其特征在于，

所述旋转移动部包括旋转轴部，所述旋转轴部插入到在构成所述真空腔室的面上形成的所述开口内，

所述移动限制机构包括限动件，所述限动件在从与所述旋转轴部连接的所述真空腔室的底面至比所述旋转轴部的下表面靠下的位置处，形成于所述开口的中心侧。

7.根据权利要求1～6中任一项所述的真空蒸镀装置，其特征在于，

所述力赋予机构包括压缩螺旋弹簧。

8.根据权利要求7所述的真空蒸镀装置，其特征在于，

所述旋转移动部包括旋转轴部，所述旋转轴部插入到在构成所述真空腔室的面上形成的所述开口内，

所述压缩螺旋弹簧连结设置于在所述旋转轴部的下部向放射状外侧形成的基体部与在所述基体部的上部形成所述开口的所述真空腔室的面之间。

9.根据权利要求8所述的真空蒸镀装置，其特征在于，

所述压缩螺旋弹簧在所述旋转轴部的周围设置多个。

10.根据权利要求1～6中任一项所述的真空蒸镀装置，其特征在于，

所述力赋予机构包括板簧。

11.根据权利要求10所述的真空蒸镀装置，其特征在于，

所述旋转移动部包括旋转轴部，所述旋转轴部插入到在构成所述真空腔室的面上形成的所述开口内，

所述板簧以包围所述旋转轴部的外周的方式连结设置于所述旋转轴部与所述真空腔室之间。