[发明专利]一种有效控制金刚线湿化学黑硅电池片EL不良的方法

权利要求书

1.一种有效控制金刚线湿化学黑硅电池片 EL 不良的方法，它包括以下步骤：

1） 制绒：将原硅片通过去除损伤层、银沉积、挖孔、初步脱银、扩孔的处理后，

以上步骤间都有水漂洗，通过一种溶液处理，所述溶液为盐酸和水组成的酸性混合液，且混合液中的体积比为盐酸：水=1:6~1:1，所述盐酸的浓度为 35%~38%，并且将湿法黑硅制绒硅片的减重控制在 0.35~0.45g，利用清洗机进行水漂洗；

2） 从正常产线流程的扩散工序开始进入到正常产线流程中处理即可，就是依次进行扩散、去 PSG、刻蚀、PECVD 镀膜、丝网印刷和测试，扩散处理时，方阻控制在 80~110Ω；刻蚀处理时，减重控制在 0.1~0.2g；

所述的清洗机的进料速度控制在 210~280s/480片；混合液中盐酸的补充原则为每过480 片湿法黑硅扩孔后的硅片后补充 440~760ml；温度控制在室温即可，浸泡时间为170s。

2.根据权利要求 1 所述的一种有效控制金刚线湿化学黑硅电池片 EL 不良的方法，其特征在于：所述的混合液中的体积比为盐酸：水=0.18~0.6207。

3.根据权利要求 2 所述的一种有效控制金刚线湿化学黑硅电池片 EL 不良的方法，其特征在于：所述的混合液中的体积比为盐酸：水=45: 190。

4.根据权利要求 1 所述的一种有效控制金刚线湿化学黑硅电池片 EL 不良的方法，其特征在于：所述的盐酸的浓度为 36.5%~37.5%。