[发明专利]一种晶体管泄漏测试设备

说明书

本发明提出的一种晶体管泄漏测试设备，包括：密封容器、三通阀、酒精测试仪和真空泵；密封容器由底座和罩设在底座上的盖体组成，底座上设有用于放置晶体管的工位，盖体内侧设有聚气罩，聚气罩通过空心杆安装在盖体上；盖体罩设在底座上的状态下，聚气罩罩设在工位上，且聚气罩底部与底座之间有间隙；聚气罩上设有通孔，酒精测试仪安装在盖体外侧，其测试气体接入软管插入盖体并通过空心杆与通孔连通。本发明结构简单，操作容易，且使用范围广。本发明中，通过设置聚气罩，可保证酒精测试仪对晶体管周围的的气体进行重点监测，如果晶体管泄漏，则酒精测试仪可快速的获取酒精分子，从而进行快速响应，以提高检测效率。

技术领域

本发明涉及晶体管检测设备技术领域，尤其涉及一种晶体管泄漏测试设备。

背景技术

当薄膜晶体管的半导体层暴露于某种环境中(例如，湿法处理过程中的溶剂)时，薄膜晶体管(TFT)的性能很可能被退化。因此，晶体管的密封性非常重要。

发明内容

基于背景技术存在的技术问题，本发明提出了一种晶体管泄漏测试设备。

本发明提出的一种晶体管泄漏测试设备，包括：密封容器、三通阀、酒精测试仪和真空泵；

密封容器由底座和罩设在底座上的盖体组成，底座上设有用于放置晶体管的工位，盖体内侧设有聚气罩，聚气罩通过空心杆安装在盖体上；盖体罩设在底座上的状态下，聚气罩罩设在工位上，且聚气罩底部与底座之间有间隙；

聚气罩上设有通孔，酒精测试仪安装在盖体外侧，其测试气体接入软管插入盖体并通过空心杆与通孔连通；

盖体上相对的两侧分别设有连通盖体内侧的第一接头和第二接头，第一接头与三通阀的输出端连通，三通阀的第一输入端和第二输入端分别用于连接酒精气体供给装置和空气供给装置；第二接头与真空泵输入端连接。

优选地，底座底部还设有加热器。

优选地，还包括支撑架，盖体固定安装在支撑架上，支撑架上还设有上下运动地用于放置底座的托台，托台上移状态下，托台上的底座与盖体配合形成密封容器；托台下移状态下，托台上的底座与盖体分离。

优选地，聚气罩为半球形结构。

本发明提出的一种晶体管泄漏测试设备工作时，首先，将待检测晶体管防止底座的工位上，再将盖体罩设在底座上形成密封容器；然后通过真空泵将密封容器内部抽真空，再通过酒精气体供给装置和三通阀向密封容器内输入定量的酒精气体；然后将三通阀切换到连通空气供给装置，通过空气供给装置和真空泵同步工作，在保持密封容器内压强恒定的情况下，将密封容器内的酒精气体置换为空气；再关闭空气供给装置和三通阀，通过真空泵抽取密封容器内一定体积的空气，然后根据酒精测试仪的检测结果判断晶体管是否泄漏。

本发明提出的一种晶体管泄漏测试设备，结构简单，操作容易，且使用范围广。具体工作式，工位上可放置任意数量的晶体管，从而灵活控制测试效率。

本发明中，通过设置聚气罩，可保证酒精测试仪对晶体管周围的的气体进行重点监测，如果晶体管泄漏，则酒精测试仪可快速的获取酒精分子，从而进行快速响应，以提高检测效率。

附图说明

图1为本发明提出的一种晶体管泄漏测试设备结构图。

具体实施方式

参照图1，本发明提出的一种晶体管泄漏测试设备，包括：密封容器、三通阀2、酒精测试仪3和真空泵4。

密封容器由底座1A和罩设在底座1A上的盖体1B组成，底座1A上设有用于放置晶体管的工位，盖体1B内侧设有聚气罩5，聚气罩5通过空心杆6安装在盖体1B上。盖体1B罩设在底座1A上的状态下，聚气罩5罩设在工位上，且聚气罩5底部与底座1A之间有间隙。