[发明专利]研磨或磨削处理用载体及其制造方法、基板的制造方法有效
申请号: | 201810660620.6 | 申请日: | 2014-12-01 |
公开(公告)号: | CN108857869B | 公开(公告)日: | 2021-04-27 |
发明(设计)人: | 玉置将德;中川裕树 | 申请(专利权)人: | HOYA株式会社 |
主分类号: | B24B37/28 | 分类号: | B24B37/28 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人: | 李辉;金玲 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 研磨 磨削 处理 载体 及其 制造 方法 | ||
1.一种研磨或磨削处理用载体的制造方法,该研磨或磨削处理用载体具有保持孔,该保持孔在由上平板和下平板夹持圆板状的基板而对所述基板的主表面进行研磨或磨削处理时用于保持所述基板,
上述研磨或磨削处理用载体的制造方法的特征在于,包括:
对板材的保持孔的内周壁面的一部分进行蚀刻的蚀刻步骤,所述板材由包括取向为至少一个方向的纤维和树脂材料的复合材料构成、且形成有圆形的所述保持孔,
在所述蚀刻步骤中,在所述内周壁面上,按照形成被蚀刻的区域和不被蚀刻的区域的方式进行蚀刻,
在所述不被蚀刻的区域,所述内周壁面的法线方向与所述纤维的取向方向不一致。
2.根据权利要求1所述的研磨或磨削处理用载体的制造方法,其特征在于,
所述被蚀刻的区域包括所述内周壁面的法线方向与所述纤维的取向方向一致的所述内周壁面上的区域。
3.一种研磨或磨削处理用载体的制造方法,该研磨或磨削处理用载体具有保持孔,该保持孔在由上平板和下平板夹持圆板状的基板而对所述基板的主表面进行研磨或磨削处理时用于保持所述基板,
上述研磨或磨削处理用载体的制造方法的特征在于,包括:
对板材的保持孔的内周壁面的一部分进行蚀刻的蚀刻步骤,所述板材由包括取向为至少一个方向的纤维和树脂材料的复合材料构成、且形成有圆形的所述保持孔,
在所述蚀刻步骤中,在所述内周壁面上,按照形成在所述内周壁面上露出的所述纤维被蚀刻的区域和在所述内周壁面上露出的所述纤维不被蚀刻的区域的方式进行蚀刻,
所述被蚀刻的区域包括所述内周壁面的法线方向与所述纤维的取向方向一致的所述内周壁面上的区域。
4.根据权利要求3所述的研磨或磨削处理用载体的制造方法,其特征在于,
所述不被蚀刻的区域包括所述内周壁面的法线方向与所述纤维的取向方向不一致的所述内周壁面上的区域。
5.根据权利要求1~4中的任意一项所述的研磨或磨削处理用载体的制造方法,其特征在于,
所述板材是使玻璃织物浸渍树脂材料而得到的,所述玻璃织物是将玻璃纤维的束、即朝向正交的2个方向的玻璃纱进行平织而成的,
在所述内周壁面上,包含绕所述保持孔的中心成0°、90°、180°、270°的方向而形成4处所述被蚀刻的区域。
6.根据权利要求5所述的研磨或磨削处理用载体的制造方法,其特征在于,
所述玻璃纤维的一条的直径是5μm~10μm,
在所述板材中沿着所述板材的平面方向的所述玻璃纱的宽度是200μm~700μm。
7.根据权利要求5所述的研磨或磨削处理用载体的制造方法,其特征在于,
在所述被蚀刻的区域中,不存在所述朝向正交的2个方向的玻璃纱中在所述内周壁面上朝向法线方向的玻璃纱,
在所述不被蚀刻的区域中,存在所述朝向正交的2个方向的玻璃纱两方。
8.根据权利要求1~4、6、7中的任意一项所述的研磨或磨削处理用载体的制造方法,其特征在于,
在所述蚀刻步骤中,在进行所述蚀刻之前,进行在所述内周壁面上的所述不被蚀刻的区域设置掩模材料的遮掩,在进行所述蚀刻之后,去除所述掩模材料。
9.根据权利要求8所述的研磨或磨削处理用载体的制造方法,其特征在于,
在所述蚀刻步骤中,在进行所述蚀刻之前,将形成有所述保持孔的多个板材以所述纤维的取向方向及所述保持孔的位置重叠的方式重叠配置,对该重叠的板材的保持孔的内周壁面进行遮掩。
10.根据权利要求1~4、6、7、9中的任意一项所述的研磨或磨削处理用载体的制造方法,其特征在于,
在所述蚀刻步骤中,在所述被蚀刻的区域涂布用于蚀刻所述纤维的蚀刻剂,从而进行所述蚀刻。
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