[发明专利]一种有机蒸汽沉积装置及其控制方法

权利要求书

1.一种有机蒸汽沉积装置，其特征在于，包括有机材料供给装置和与所述有机材料供给装置连接的多个喷头；

所述喷头包括增压装置以及设置在所述增压装置相对两侧的喷嘴和激光器，所述有机材料供给装置用于将其输出的沉积气体输送至所述激光器与所述喷嘴之间，所述激光器用于向所述喷嘴发射激光，所述增压装置用于将所述有机材料供给装置传输的沉积气体加压后从所述喷嘴喷出。

2.根据权利要求1所述的有机蒸汽沉积装置，其特征在于，所述有机材料供给装置包括多个独立的子供给装置；

所述子供给装置包括混合匀压腔室、与所述混合匀压腔室连接的蒸汽源供给装置和高压载气供给装置、设置在所述混合匀压腔室内的控温元件，所述混合匀压腔室的出口连接多个所述喷头；

多个所述蒸汽源供给装置供给的有机蒸汽不完全相同；所述高压载气供给装置供给的载气不与所述蒸汽源供给装置供给的有机蒸汽发生气相反应。

3.根据权利要求1所述的有机蒸汽沉积装置，其特征在于，所述有机蒸汽沉积装置还包括设置在所述喷嘴的出口方向上的承载基板及冷却系统，所述承载基板设置在所述喷嘴的下方；

所述冷却系统设置在所述承载基板的下方；

或者，

所述冷却系统设置在所述承载基板的内部。

4.根据权利要求3所述的有机蒸汽沉积装置，其特征在于，所述有机蒸汽沉积装置还包括设置在所述承载基板上的激光接收器，所述激光接收器用于根据接收到的激光强度判断所述喷头与沉积过程中放置在所述承载基板上的沉积基板的相对位置。

5.根据权利要求1所述的有机蒸汽沉积装置，其特征在于，所述增压装置包括压电陶瓷管、进口阀、出口阀和微机电系统，所述进口阀和所述出口阀分别位于所述压电陶瓷管的进口端和出口端；

所述微机电系统与所述压电陶瓷管连接以控制所述压电陶瓷管的变形，所述微机电系统与所述进口阀和所述出口阀连接以控制所述进口阀和所述出口阀的开关。

6.根据权利要求1-5任一项所述的有机蒸汽沉积装置，其特征在于，所述喷头还包括与所述激光器连接的激光控制器，所述激光控制器用于控制所述激光器的发光强度；

和/或；

用于控制所述激光器发出散射光或直射光。

7.一种如权利要求1-6任一项所述的有机蒸汽沉积装置的控制方法，其特征在于，包括：

疏通喷嘴阶段：

控制有机材料供给装置停止向喷头输送沉积气体；

控制激光器第一次发光，使黏附在喷嘴上的有机材料升华形成残余气体；

控制增压装置将残余气体喷出喷嘴；

其中，所述激光器第一次发光时发出散射光。

8.根据权利要求7所述的有机蒸汽沉积装置的控制方法，其特征在于，

所述控制有机材料供给装置停止向喷头输送沉积气体，具体包括：

控制蒸汽源供给装置停止向混合匀压腔室输送有机蒸汽，控制高压载气供给装置向所述混合匀压腔室输送载气；

所述控制增压装置将残余气体喷出喷嘴，具体包括：

控制所述增压装置将残余气体和载气喷出所述喷嘴。

9.根据权利要求7所述的有机蒸汽沉积装置的控制方法，其特征在于，还包括：

沉积阶段：

控制所述有机材料供给装置向所述喷头输送沉积气体；

控制所述激光器第二次发光，对所述有机材料供给装置输送的沉积气体加热；

控制所述增压装置将加热后的沉积气体喷出所述喷嘴；

其中，所述激光器第二次发光时发出散射光，所述激光器第一次发光时的发光强度大于第二次发光时的发光强度。

10.根据权利要求7所述的有机蒸汽沉积装置的控制方法，其特征在于，还包括：

对位阶段：

控制所述有机材料供给装置停止向所述喷头输送气体；

控制所述激光器第三次发光；

控制激光接收器根据接收到的激光强度判断所述喷头与承载基板上放置的沉积基板的相对位置，对所述喷头进行定位；

其中，所述激光器第三次发光时发出直射光，所述激光器第一次发光时的发光强度大于第三次发光时的发光强度。