[发明专利]真空干燥设备

权利要求书

1.一种真空干燥设备，其特征在于，包括腔体(10)、间隔分布于所述腔体内的多个抽气口(20)、与所述多个抽气口(20)相连的抽气单元(30)、设于所述腔体内的浓度传感器(40)以及电性连接所述浓度传感器(40)和抽气单元(30)的控制单元(50)；

所述腔体(10)用于容置基板(100)，所述基板(100)上设有待干燥成型的墨水，所述浓度传感器(40)用于在所述墨水干燥成型的过程中感测各个抽气口(20)处的墨水浓度，所述控制单元(50)用于根据各个抽气口(20)处的墨水浓度控制抽气单元(30)改变各个抽气口(20)处的抽气压力，使得各个抽气口(20)处的墨水浓度一致；

所述抽气口(20)的数量及位置根据基板(100)的尺寸进行调整，所述浓度传感器(40)相应匹配所述抽气口(20)的改变而改变；

所述多个抽气口(20)排列成多行，所述浓度传感器(40)的数量与所述抽气口(20)的行数相等，每一个浓度传感器(40)对应一行抽气口(20)设置且能够沿该行抽气口(20)的行方向移动。

2.如权利要求1所述的真空干燥设备，其特征在于，还包括：设于所述腔体(10)内的多个间隔排列的基板顶针(60)，所述待干燥的基板(100)放置于所述顶针(60)上。

3.如权利要求1所述的真空干燥设备，其特征在于，所述抽气单元(30)包括抽气泵(31)及连通抽气泵(31)的多个调节阀(32)，每一个抽气口(20)对应通过一个调节阀(32)与所述抽气泵(31)连通，所述抽气单元(30)通过控制所述调节阀(32)的开口大小改变各个抽气口(20)处的抽气压力。

4.如权利要求1所述的真空干燥设备，其特征在于，所述多个抽气口(20)排列成两行。

5.如权利要求1所述的真空干燥设备，其特征在于，所述墨水为用于形成有机发光二极管的墨水。

6.如权利要求1所述的真空干燥设备，其特征在于，所述墨水通过喷墨打印设于所述基板(100)上。