[发明专利]全息镭射圆筒版制作方法在审
| 申请号： | 201810665443.0 | 申请日： | 2018-06-26 |
| 公开（公告）号： | CN108957961A | 公开（公告）日： | 2018-12-07 |
| 发明（设计）人： | 钟华剑 | 申请（专利权）人： | 无锡光群雷射科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F7/16 |
| 代理公司： | 苏州广正知识产权代理有限公司 32234 | 代理人： | 李猛 |
| 地址： | 214028 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 光刻胶版 金属圆筒 全息镭射 电铸 喷银 电铸槽 镍版 光刻胶版表面 光刻胶涂布 材料要求 导电支架 电流模式 平面全息 平张胶印 印刷模式 传统的 镭射版 镭射膜 配置的 无版缝 全息 版距 放入 光刻 卷状 柔印 显影 药水 银镜 原材 制作 分段 匹配 切割 取出 印刷 开发 生产 | ||
1.一种全息镭射圆筒版制作方法，其特征在于，包括以下步骤：
（1）圆筒光刻胶涂布：准备一个表面镜面的金属圆筒，在金属圆筒表面涂布光刻胶；
（2）圆筒全息光刻：将金属圆筒固定在辊轮上，Lcd投影式双光束光刻聚焦于金属圆筒的光刻胶上，进行光刻，得到金属圆筒光刻胶版；
（3）圆筒光刻胶版显影：将金属圆筒光刻胶版置于显影槽内显影，取出金属圆筒光刻胶版迅速用纯水清洗干净；
（4）圆筒光刻胶版喷银：使用配置的银镜药水，进行金属圆筒光刻胶版表面喷银；
（5）圆筒光刻胶版电铸：将喷银完成的金属圆筒光刻胶版固定于圆筒版导电支架上，放入圆筒电铸槽中；
（6）在圆筒电铸槽中采用分段电流模式进行电铸，在圆筒光刻胶版上电铸完成圆筒镍版；
（7）取出圆筒镍版并与金属圆筒光刻胶版进行分离。
2.根据权利要求1所述的全息镭射圆筒版制作方法，其特征在于，步骤（1）中使用提拉旋转的方式在金属圆筒表面涂布光刻胶。
3.根据权利要求1所述的全息镭射圆筒版制作方法，其特征在于，步骤（1）中涂布的光刻胶的厚度为1.5~2.5μm。
4.根据权利要求1所述的全息镭射圆筒版制作方法，其特征在于，步骤（2）中圆筒全息光刻的具体过程：将金属圆筒固定在气涨轴辊轮上，Lcd投影式双光束光刻聚焦于金属圆筒的光刻胶上，光刻机头金属沿圆筒横向移动，金属圆筒随辊轮旋转；辊轮旋转一周，测量圆筒圆周尺寸；将设计好的光刻文件导入光刻机系统，同步控制光刻机头及辊轮运动，进行光刻。
5.根据权利要求1所述的全息镭射圆筒版制作方法，其特征在于，步骤（3）中显影的温度25~30℃，显影时间为25~35s。
6.根据权利要求1所述的全息镭射圆筒版制作方法，其特征在于，步骤（4）中喷银的厚度28~32 nm。
7.根据权利要求1所述的全息镭射圆筒版制作方法，其特征在于，步骤（6）中的电铸的温度为42~47℃，电铸时间为7~9小时。
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