[发明专利]一种柔性有源彩色显示模块生产方法

权利要求书

1.一种柔性有源彩色显示模块生产方法，其特征在于，包括以下步骤：

制作第一基色量子发光薄膜芯片；

制作第二基色量子发光薄膜芯片；

制作第三基色量子发光薄膜芯片；

在柔性衬底上制作有源矩阵显示控制电路；

在有源矩阵显示控制电路表面上沉淀一层表面粘合金属薄膜；

将第一基色量子发光薄膜芯片粘合在有源矩阵显示控制电路上；

将第一基色量子发光薄膜芯片的衬底剥离；

在第一基色量子发光薄膜以及粘合金属薄膜上选择性地刻蚀形成第一基色量子发光像素阵列；

用介质填平表面，通过选择性介质刻蚀形成对应于有源矩阵显示控制电路电极的空心孔阵列，填入导电金属形成铆钉式电极阵列，将表面平整；

在第一基色量子发光像素阵列表面上沉淀一层透明粘合金属薄膜；

将第二基色量子发光薄膜芯片粘合在透明粘合金属薄膜上；

将第二基色量子发光薄膜芯片的衬底剥离；

在第二基色量子发光薄膜以及粘合金属薄膜上选择性地刻蚀形成第二基色量子发光像素阵列；

用介质填平表面，通过选择性介质刻蚀形成对应于有源矩阵显示控制电路电极的空心孔阵列，填入导电金属形成铆钉式电极阵列，将表面平整；

在第二基色量子发光像素阵列表面上沉淀一层透明粘合金属薄膜；

将第三基色量子发光薄膜芯片粘合在透明粘合金属薄膜上；

将第三基色量子发光薄膜芯片的衬底剥离；

在第三基色量子发光薄膜以及粘合金属薄膜上选择性地刻蚀形成第三基色量子发光像素阵列；

用透明介质填平表面，在第三基色量子发光像素阵列表面沉淀一层透明金属薄膜作为第三基色量子发光像素阵列通用电极。

2.根据权利要求1所述柔性有源彩色显示模块生产方法，其特征在于，所述第一基色、所述第二基色与所述第三基色分别为红光、绿光与蓝光中的相异的一种。

3.根据权利要求1所述柔性有源彩色显示模块生产方法，其特征在于，所述量子发光薄膜芯片为半导体发光器件。

4.根据权利要求3所述柔性有源彩色显示模块生产方法，其特征在于，所述量子发光薄膜芯片为电场致量子点发光器件。

5.根据权利要求3所述柔性有源彩色显示模块生产方法，其特征在于，所述量子发光薄膜芯片为有机半导体发光器件。

6.根据权利要求3所述柔性有源彩色显示模块生产方法，其特征在于，所述量子发光薄膜芯片为无机半导体发光器件。

7.根据权利要求3所述柔性有源彩色显示模块生产方法，其特征在于，所述量子发光薄膜芯片为氮化镓半导体发光器件。

8.根据权利要求3所述柔性有源彩色显示模块生产方法，其特征在于，所述量子发光薄膜芯片为砷化镓半导体发光器件。

9.根据权利要求3所述柔性有源彩色显示模块生产方法，其特征在于，所述量子发光薄膜芯片为磷化铟半导体发光器件。

10.根据权利要求3所述柔性有源彩色显示模块生产方法，其特征在于，所述量子发光薄膜芯片为在蓝宝石衬底上用分子束外延或者金属有机化合物化学气相沉淀方式外延生长的III-V族化合物半导体发光器件。

11.根据权利要求3所述柔性有源彩色显示模块生产方法，其特征在于，所述量子发光薄膜芯片为在砷化镓衬底上用分子束外延或者金属有机化合物化学气相沉淀方式外延生长的III-V族化合物半导体发光器件。

12.根据权利要求1所述柔性有源彩色显示模块生产方法，其特征在于，所述柔性衬底为以下其中之一的薄膜材料：高温塑料聚合物膜、不锈钢薄膜、单晶硅薄膜及多晶硅薄膜。