[发明专利]一种大面积图案化石墨烯的制备方法在审
| 申请号： | 201810666819.X | 申请日： | 2018-06-26 |
| 公开（公告）号： | CN108529605A | 公开（公告）日： | 2018-09-14 |
| 发明（设计）人： | 陆卫兵;陈昊;刘震国;张金 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | C01B32/186 | 分类号： | C01B32/186;C01B32/194 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 张华蒙 |
| 地址： | 210096 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 石墨烯 初步图案 铜箔 大面积图案 铜箔表面 制备 切割 石墨烯材料 图案单元 微波器件 图案化 生长 刀头 分立 管径 铣刀 机床 微波 局限 调控 移动 加工 保证 | ||
1.一种大面积图案化石墨烯的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：
1)对生长石墨烯(3)所用的铜箔(1)进行切割形成初步图案化，得到初步图案化的铜箔(1)；
2)在初步图案化的铜箔(1)上生长石墨烯(3)，得到初步图案化铜箔(1)表面上的石墨烯(3)；
3)将初步图案化铜箔(1)表面上的石墨烯(3)转移到PVC基底(4)上，得到转移到PVC上的石墨烯(3)；
4)对PVC基底(4)进行切割，形成最终图案化的石墨烯(3)。
2.根据权利要求1所述的一种大面积图案化石墨烯的制备方法，其特征在于，步骤1)及步骤4)的切割是基于程控电移台的机械铣刀法。
3.根据权利要求1所述的一种大面积图案化石墨烯的制备方法，其特征在于，用盐酸及乙醇对步骤1)得到的所述的初步图案化的铜箔(1)进行清洗，去除表面氧化物。
4.根据权利要求1所述的一种大面积图案化石墨烯的制备方法，其特征在于，步骤2)的生长石墨烯(3)方法是基于化学气相沉积法，生长石墨烯(3)尺寸达到15cm×15cm。
5.根据权利要求1所述的一种大面积图案化石墨烯的制备方法，其特征在于，步骤2)的操作为：将图案化的铜箔(1)放在CVD炉内，抽真空，升温至1000-1200℃，在升温和保持过程中持续通入氢气，流速为60-80sccm；保持过程结束后，通入甲烷不少于10mins提供碳源以生长石墨烯，甲烷的流速为20-30sccm，生长完成后，关闭碳源气体，继续通氢气，自然降温到室温，得到图案化铜箔(1)表面上的石墨烯(3)。
6.根据权利要求1所述的一种大面积图案化石墨烯的制备方法，其特征在于，步骤3)的转移是基于塑封胶PVC基底(4)的滚轮热压法，利用滚轮热压法转移，转移时热压机工作温度为130℃-150℃；利用硝酸去除铜箔(1)，并在清水中浸泡，得到转移到PVC上的石墨烯(3)。
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