[发明专利]磁性材料、电子部件和磁性材料的制造方法

说明书

本发明提供一种能够提高绝缘特性的磁性材料及其制造方法。本发明的一个方式的磁性材料包括：含Fe的软磁性金属颗粒和覆盖上述软磁性金属颗粒的表面的多层氧化膜。上述多层氧化膜具有含Fe的结晶质的第1氧化物层和含Si的非晶质的第2氧化物层。本发明的一个方式的磁性材料的制造方法，包括在含Fe的软磁性金属颗粒的表面形成非晶质的硅氧化膜的步骤。将上述软磁性金属颗粒在还原性气氛下以900℃以下的第1温度加热。

技术领域

本发明涉及构成例如电感器等电子部件的磁性材料及其制造方法。

背景技术

电感器、扼流线圈、变压器等电子部件，具有作为磁心的磁性体和形成在该磁性体的内部或表面上的线圈。作为磁性体的材料，一般使用例如NiCuZn类铁氧体等铁氧体材料。

近年来，对这种电子部件要求大电流化，为了满足这样的要求，正在探讨将磁性体的材料从过去的铁氧体更换到金属类的材料。作为金属类的材料，已知有FeSiCr合金、FeSiAl合金等，例如在专利文献1中公开了FeSiCr类软磁性合金粉的合金相彼此经由含Fe、Si和Cr的氧化物相结合的压粉磁心。

另一方面，金属类的磁性材料，虽然材料本身的饱和磁通密度比铁氧体高，但是材料本身的体积电阻率比过去的铁氧体低，所以要求电绝缘特性的进一步提高。例如专利文献2中公开了在以Fe为主成分的软磁性金属颗粒的颗粒间存在玻璃部的软磁性压粉磁心。玻璃部通过在加压状态下利用热使低熔点玻璃材料软化而形成。低熔点玻璃材料的熔点低、因加热而在软磁性金属颗粒间发生扩散反应，能够填埋由覆盖软磁性金属颗粒的表面的氧化物部无法填埋的大小的空隙。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2015-126047号公报

专利文献2：日本特开2015-144238号公报

专利文献3：日本特开2007-92120号公报

发明内容

发明要解决的课题

但是，存在难以用玻璃填埋软磁性金属颗粒间的间隙，绝缘的稳定性欠缺的问题。另外，即使用玻璃能够填埋了软磁性金属颗粒间的间隙，软磁性金属颗粒的氧化反应也变得不稳定，有可能反而使绝缘特性降低。

鉴于如上所述的情况，本发明的目的在于提供一种能够提高绝缘特性的磁性材料及其制造方法。

用于解决课题的方法

为了达成上述目的，本发明的一个方式的磁性材料包括：含Fe的软磁性金属颗粒和覆盖上述软磁性金属颗粒的表面的多层氧化膜。

上述多层氧化膜具有含Fe的结晶质的第1氧化物层和含Si的非晶质的第2氧化物层。

由此，能够得到绝缘特性优秀的磁性材料。

上述第1氧化物层可以存在于上述软磁性金属颗粒的表面与上述第2氧化物层之间。

在这种情况下，上述多层氧化膜可以进一步具有含Fe和Si的第3氧化物层，其覆盖上述第2氧化物层。

在这种情况下，上述多层氧化膜可以进一步具有含Fe和O的第4氧化物层，其覆盖上述第3氧化物层。

上述软磁性金属颗粒例如由纯铁粉构成。

另一方面，上述第2氧化物层可以存在于上述软磁性金属颗粒的表面与上述第1氧化物层之间。

在这种情况下，上述第2氧化物层还含有Fe。

在上述结构的磁性材料中，上述软磁性金属颗粒是例如含有Fe、元素L(其中，元素L是Si、Zr、Ti的任一种)和元素M(其中，元素M是Si、Zr、Ti以外的、比Fe容易氧化的元素)的软磁性合金颗粒。