[发明专利]气体红外探测器在审
| 申请号： | 201810670530.5 | 申请日： | 2018-06-26 |
| 公开（公告）号： | CN110646364A | 公开（公告）日： | 2020-01-03 |
| 发明（设计）人： | 万霞;黄隆重;尹斌;黄宁杰 | 申请（专利权）人： | 浙江三花智能控制股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/3504 | 分类号： | G01N21/3504 |
| 代理公司： | 11201 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 宋合成 |
| 地址： | 312500 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 上表面 第二电极 第三电极 隔离层 红外探测器 石墨烯薄膜 衬底 第一电极 红外光 周期性纳米结构 红外波长 间隔设置 侧面 探测器 吸收 | ||
1.一种气体红外探测器，其特征在于，包括：
第一电极；
衬底，所述衬底设在所述第一电极的上表面；
隔离层，所述隔离层设在所述衬底的上表面；
第二电极和第三电极，所述第二电极和所述第三电极设在所述隔离层的上表面且彼此间隔设置；
石墨烯薄膜，所述石墨烯薄膜覆设在所述隔离层的在所述第二电极和所述第三电极之间的上表面、所述第二电极的与所述第三电极相对的内侧面、所述第三电极的与所述第二电极相对的内侧面、第二电极的上表面和第三电极的上表面，所述隔离层的上表面的所述石墨烯薄膜具有周期性纳米结构。
2.根据权利要求1所述的气体红外探测器，其特征在于，所述石墨烯薄膜在所述第二电极的上表面的覆盖面积小于所述第二电极的上表面面积，所述石墨烯薄膜在所述第三电极的上表面的覆盖面积小于所述第三电极的上表面面积。
3.根据权利要求1所述的气体红外探测器，其特征在于，所述周期性纳米结构包括多个孔状结构。
4.根据权利要求3所述的气体红外探测器，其特征在于，所述孔状结构的横切面呈圆形、方形、菱形或三角形。
5.根据权利要求1所述的气体红外探测器，其特征在于，所述隔离层为二氧化硅隔离层。
6.根据权利要求1所述的气体红外探测器，其特征在于，所述衬底包括N型和P型硅材料。
7.根据权利要求1所述的气体红外探测器，其特征在于，所述第二电极和所述第三电极为金属薄膜电极，所述金属为铝、金或金铬合金。
8.根据权利要求1所述的气体红外探测器，其特征在于，所述第一电极为金属薄膜电极，所述金属为镓铟合金、钛金合金或铝。
9.根据权利要求1-8中任一项所述的气体红外探测器，其特征在于，所述石墨烯薄膜为单层或多层。
10.根据权利要求1-8中任一项所述的气体红外探测器，其特征在于，所述气体红外探测器能够通过调节所述第三电极的电压改变所述石墨烯薄膜的化学势。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于浙江三花智能控制股份有限公司，未经浙江三花智能控制股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201810670530.5/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
