[发明专利]一种带有水循环功能的单晶硅除杂装置

权利要求书

1.一种带有水循环功能的单晶硅除杂装置，包括工作平台(1)，其特征在于：所述工作平台(1)顶部左右两侧均设置有立柱(2)，两组所述立柱(2)顶部与顶板(3)连接，所述顶板(3)内腔底部开设有导向槽(5)，所述导向槽(5)内腔底部活动插接有电动伸缩杆(4)，所述电动伸缩杆(4)底部设置有驱动电机(6)，所述驱动电机(6)底部输出端与加工刀具(7)连接，所述驱动电机(6)底部外壁设置有防尘罩(8)，且加工刀具(7)位于防尘罩(8)的内腔，右侧所述立柱(2)右侧外壁安装有储水箱(9)，所述储水箱(9)内腔左侧底部设置有泵，且泵左侧出水口延伸至储水箱(9)的左侧外壁并与软管(10)连接，所述软管(10)左侧延伸至防尘罩(8)的内腔，且软管(10)位于加工刀具(7)的右侧，所述工作平台(1)顶部开设有孔洞，所述工作平台(1)底部安装有收集箱(11)，所述收集箱(11)内腔底部设置有杂质收集箱(12)，且杂质收集箱(12)顶部开设有开口，所述杂质收集箱(12)右侧外壁与把手(13)连接，且把手(13)右端延伸至收集箱(11)的右侧外壁，所述收集箱(11)左右两侧内壁之间设置有支撑板(14)，且支撑板(14)位于杂质收集箱(12)的正上方，所述支撑板(14)顶部中央与挡板(15)连接，所述挡板(15)顶部与过滤网(16)连接，所述过滤网(16)右侧外壁与收集箱(11)右侧内壁顶部连接，且过滤网(16)左侧高度低于右侧高度，所述支撑板(14)顶部左侧开设有开口，所述支撑板(14)顶部右侧设置有抽水泵(17)，所述抽水泵(17)右侧出水口延伸至收集箱(11)右侧外壁并与回流管(18)连接，所述回流管(18)远离抽水泵(17)的一端与储水箱(9)右侧外壁连接。

2.根据权利要求1所述的一种带有水循环功能的单晶硅除杂装置，其特征在于：所述杂质收集箱(12)底部前后两侧均设置有滑轮(121)，所述收集箱(11)内腔底部均开设有与滑轮(121)相匹配的滑动槽(111)，且滑轮(121)底部外壁在活动槽(111)顶部外壁相贴合。

3.根据权利要求1所述的一种带有水循环功能的单晶硅除杂装置，其特征在于：所述收集箱(11)顶部左右两侧均设置有卡块，所述工作平台(1)底部左右两侧均开设有与卡块相匹配的卡槽，且收集箱(11)顶部通过卡块卡槽与工作平台(1)底部连接。

4.根据权利要求1所述的一种带有水循环功能的单晶硅除杂装置，其特征在于：所述工作平台(1)顶部均匀开设有孔洞，且孔洞呈矩形阵列排布。

5.根据权利要求1所述的一种带有水循环功能的单晶硅除杂装置，其特征在于：所述过滤网(16)呈左低右高倾斜设置，且倾斜角度为三十度到四十五度之间。

6.根据权利要求1所述的一种带有水循环功能的单晶硅除杂装置，其特征在于：所述把手(13)外壁均匀设置有半圆形的凸块，且凸块为橡胶凸块。