[发明专利]一种用于机械机械锁芯表面耐磨损层加工工艺在审
| 申请号： | 201810671431.9 | 申请日： | 2018-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN108559963A | 公开（公告）日： | 2018-09-21 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 马鞍山天高智能科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 243000 安徽省马鞍山市慈湖*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 制备 非平衡磁控溅射 氩气 工作气体 机械机械 耐磨损层 锁芯表面 功能层 过渡层 等离子体清洗 复合材料表面 超声波清洗 机械零部件 保温过程 镀膜设备 反应气体 工艺步骤 两层结构 真空系统 真空抽 真空室 烘干 对锁 去屑 去油 锁芯 加热 保温 室内 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于机械机械锁芯表面耐磨损层加工工艺，其特征在于包括以下工艺步骤：1、锁芯经去油、去屑后，经超声波清洗并烘干后，置于非平衡磁控溅射镀膜设 备的真空室中；2、开启非平衡磁控溅射设备的真空系统，将真空室内的真空抽到3×10-3Pa；将机械零 部件加热到200℃～500℃保温30分钟；在保温过程中，同时对锁芯进行等离子体清 洗；3、使用氩气作为工作气体，利用非平衡磁控溅射方法制备过渡层，根据工件服役特 点，过渡层的厚度制备在0 .4μm ~2μm之间；4、使用氩气作为工作气体，通入反应气体制备功能层，根据工件服役特点，功能层的 厚度制备在0 .2μm ~8μm之间；所述反应气体为氮气或乙炔；5、锁芯随炉冷却到100℃以内，取出即可。
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