[发明专利]膜片分离机构及膜片分离方法

说明书

本发明提供了一种膜片分离机构及膜片分离方法。其中，膜片分离机构包括：承载装置，用于承载待分离组合件，承载装置包括第一吸附区和排斥区，其中，第一吸附区能够吸合待分离组合件的第一子部件，排斥区能够将待分离组合件的第二子部件推离承载装置；柱状吸合结构，位于承载装置的上方，柱状吸合结构具有多个第二吸附区，部分或全部第二吸附区投入使用并对待分离组合件的第二子部件进行吸合，柱状吸合结构相对于承载装置运动，以实现待分离组合件的第一子部件和第二子部件之间的分离。本发明有效地解决了现有技术中膜片分离的加工效率较低，存在分离不彻底导致基底碎裂的问题。

技术领域

本发明涉及膜片分离技术领域，具体而言，涉及一种膜片分离机构及膜片分离方法。

背景技术

目前，在膜片分离技术中，剥离技术包括机械剥离、激光剥离及湿法腐蚀剥离。在湿法腐蚀剥离技术中，湿法剥离后需要将膜片与基底分离。然而，由于膜片和基底之间存在液体，造成膜片与基底之间产生水吸附效应，导致二者之间的分离较为困难。

在现有技术中，通常采用手工分离方式对膜片和基底进行分离，不仅加工效率较低，且存在分离不彻底导致基底碎裂的现象。

发明内容

本发明的主要目的在于提供一种膜片分离机构及膜片分离方法，以解决现有技术中膜片分离的加工效率较低，存在分离不彻底导致基底碎裂的问题。

为了实现上述目的，根据本发明的一个方面，提供了一种膜片分离机构，包括：承载装置，用于承载待分离组合件，承载装置包括第一吸附区和排斥区，其中，第一吸附区能够吸合待分离组合件的第一子部件，排斥区能够将待分离组合件的第二子部件推离承载装置；柱状吸合结构，位于承载装置的上方，柱状吸合结构具有多个第二吸附区，部分或全部第二吸附区投入使用并对待分离组合件的第二子部件进行吸合，柱状吸合结构相对于承载装置运动，以实现待分离组合件的第一子部件和第二子部件之间的分离。

进一步地，膜片分离机构还包括：导轨组件，能够带动柱状吸合结构进行移动；驱动结构，与柱状吸合结构连接且能够驱动柱状吸合结构绕其自身轴线转动。

进一步地，膜片分离机构还包括：升降结构，通过升降结构带动柱状吸合结构或承载装置进行升降。

进一步地，柱状吸合结构包括筒状吸合件，筒状吸合件的外表面具有多个第二吸附区，且多个第二吸附区沿筒状吸合件的周向间隔设置，在任意时刻，多个第二吸附区中与承载装置距离最近的第二吸附区投入使用；在预设时间内，全部第二吸附区顺次投入使用。

进一步地，柱状吸合结构还包括与筒状吸合件连接的第一抽真空组件，第一抽真空组件与至少一个第二吸附区连通，以向第二吸附区提供真空负压。

进一步地，第一抽真空组件包括：两个盖体，两个盖体分别与筒状吸合件的两个端面连接；抽真空主管路，部分抽真空主管路穿过其中一个盖体后与抽真空泵连接；多个抽真空支管路，与多个第二吸附区对应设置并与抽真空主管路连接，且各抽真空支管路与相应的第二吸附区相连通；控制装置，通过控制装置控制抽真空主管路与抽真空支管路的通断，在预设时间内，不同的抽真空支管路与抽真空主管路顺次连通。

进一步地，控制装置包括多个开关结构，且多个开关结构与多个抽真空支管路对应设置，以控制相应的抽真空支管路与抽真空主管路的通断。

进一步地，承载装置包括：承载结构，第一吸附区和/或排斥区设置在承载结构的上表面；第二抽真空组件，设置在承载结构上，第一吸附区通过第二抽真空组件吸合待分离组合件的第一子部件；进气结构，设置在承载结构上，排斥区通过进气结构将待分离组合件的第二子部件推离承载结构。

进一步地，排斥区位于第一吸附区的一侧。

进一步地，排斥区和/或第一吸附区和/或第二吸附区由多个通孔形成。