[发明专利]金刚线多晶硅片制绒添加剂及金刚线多晶硅片制绒刻蚀液在审
| 申请号： | 201810671757.1 | 申请日： | 2018-06-26 |
| 公开（公告）号： | CN110644049A | 公开（公告）日： | 2020-01-03 |
| 发明（设计）人： | 王懿喆;易武雄;潘鼎鼎;张卫 | 申请（专利权）人： | 上海硅洋新能源科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/06 | 分类号： | C30B29/06;C30B33/10;H01L31/0236;H01L31/18 |
| 代理公司： | 31297 上海宏京知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 邓文武 |
| 地址： | 201306 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 多晶硅片 金刚线 稳泡 制绒添加剂 季铵盐阳离子表面活性剂 低粘度 高粘度 聚乙二醇单甲醚 可溶性柠檬酸盐 草酸 柠檬酸 太阳能光伏 调制处理 发电成本 聚乙二醇 去离子水 微观结构 异构醇醚 转换效率 反射率 降低度 酒石酸 刻蚀液 硅片 绒面 陷光 制绒 添加剂 | ||
【权利要求书】：
1.一种金刚线多晶硅片制绒添加剂，其特征在于包括：低粘度低稳泡组分，高粘度高稳泡组分和去离子水；
所述低粘度低稳泡组分包括草酸、酒石酸、异构醇醚、柠檬酸、可溶性柠檬酸盐和季铵盐阳离子表面活性剂中的一种或几种；
所述高粘度高稳泡组分包括聚乙二醇、聚乙二醇单甲醚、吉米奇类季铵盐阳离子表面活性剂中的一种或几种。
2.如权利要求1所述金刚线多晶硅片制绒添加剂，其特征在于由下述按质量百分比计的原料组成：
低粘度低稳泡组分 0.5-10%
高粘度高稳泡组分 0.1%-2%
其余为去离子水。
3.一种金刚线多晶硅片制绒刻蚀液，其特征在于包括：氢氟酸、硝酸、电子级纯水和如权利要求1或2所述金刚线多晶硅片制绒添加剂；所述氢氟酸、硝酸和电子级纯水的质量比例为1：(2.8-3.2)：(1.6-1.9)。
4.如权利要求3所述金刚线多晶硅片制绒刻蚀液，其特征在于：所述金刚线多晶硅片制绒添加剂的体积比占金刚线多晶硅片制绒刻蚀液的1%-2%。
5.如权利要求3所述金刚线多晶硅片制绒刻蚀液，其特征在于：所述金刚线多晶硅片清洗刻蚀液的液温为3-12℃。
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