[发明专利]热等静压焊接钽靶与铝包套隔离方法在审

专利信息
申请号: 201810673420.4 申请日: 2018-06-26
公开(公告)号: CN108788434A 公开(公告)日: 2018-11-13
发明(设计)人: 姚力军;潘杰;王学泽;马宗才 申请(专利权)人: 宁波江丰电子材料股份有限公司
主分类号: B23K20/00 分类号: B23K20/00;B23K20/26
代理公司: 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 代理人: 陈晓云
地址: 315000 浙江省宁波*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 铝包 隔离层 焊接 热等静压焊接 钽靶材 钽表面 钽靶 隔离 扩散 靶材 产品扩散 焊接过程 热等静压
【说明书】:

发明提供了一种热等静压焊接钽靶与铝包套隔离方法,涉及铝包套焊接的技术领域,包括在铝包套焊接前,钽靶材与铝包套之间设有一层不与靶材反应的或反应不充分的隔离层;扩散焊接后,直接将隔离层和铝包套自钽靶材表面撕开。本发明的目的在于提供一种热等静压焊接钽靶与铝包套隔离方法,为避免在热等静压扩散焊接过程中铝包套与产品钽表面扩散在一起,在铝包套焊接前,在产品钽表面与铝包套接触面上垫上一层不与靶材反应的、或反应不够充分的隔离层,产品扩散焊接后可直接将隔离层+铝包套从钽表面撕开,且隔离层对钽靶材没有影响。

技术领域

本发明涉及铝包套焊接技术领域,尤其是涉及一种热等静压焊接钽靶与铝包套隔离方法。

背景技术

靶材与背板在热等静压扩散焊接前需要进行包套焊接,也就是把靶材和背板装配好放入包套内,然后将用氩弧焊进行焊接密封。焊接好后进行抽真空,使包套内的靶材处于密闭真空状态。一般常用的包套材质为铝包套,常用靶材的焊接温度为200℃到1000℃。

带铝包套的靶材与背板在一定温度的热等静压下,靶材和背板焊接面扩散在一起,但同时包套也会与靶材或者背板进行扩散,导致热等静压焊接后铝包套与靶材(钽材料)难以去除。贵重的钽金属靶材与包套扩散后需要车削去除包套,由于热等静压不可避免地会使产品产生一定的变形,这就导致在车削去除包套过程中也会车到钽面,从而造成原材料成本的浪费。

公开于该背景技术部分的信息仅仅旨在加深对本发明的总体背景技术的理解,而不应当被视为承认或以任何形式暗示该信息构成已为本领域技术人员所公知的现有技术。

发明内容

本发明的目的在于提供一种热等静压焊接钽靶与铝包套隔离方法,为避免在热等静压扩散焊接过程中铝包套与产品钽表面扩散在一起,在铝包套焊接前,在产品钽表面与铝包套接触面上垫上一层不与靶材反应的、或反应不够充分的隔离层,产品扩散焊接后可直接将隔离层+铝包套从钽表面撕开,且隔离层对钽靶材没有影响。

为实现上述目的,本发明提供以下技术方案:

本发明提供一种热等静压焊接钽靶与铝包套隔离方法,包括:

在铝包套焊接前,钽靶材与所述铝包套之间设有一层不与靶材反应的或反应不充分的隔离层;

扩散焊接后,直接将所述隔离层和所述铝包套自所述钽靶材表面撕开。

进一步地,所述隔离层包括不锈钢片。

进一步地,所述不锈钢片材质为304不锈钢。

进一步地,所述不锈钢片的厚度为0.1mm-0.2mm。

进一步地,所述不锈钢片覆盖于所述钽靶材背离背板一侧,且所述不锈钢片的尺寸与所述背板的尺寸相同。

本发明提供的热等静压焊接钽靶与铝包套隔离方法具有以下有益效果:

本发明提供一种热等静压焊接钽靶与铝包套隔离方法,包括在铝包套焊接前,钽靶材与铝包套之间设有一层不与靶材反应的或反应不充分的隔离层;扩散焊接后,直接将隔离层和铝包套自钽靶材表面撕开。

采用本发明提供的热等静压焊接钽靶与铝包套隔离方法,为避免在热等静压扩散焊接过程中铝包套与产品钽表面扩散在一起,在铝包套焊接前,在产品钽表面与铝包套接触面上垫上一层不与靶材反应的、或反应不够充分的隔离层,产品扩散焊接后可直接将隔离层+铝包套从钽表面撕开,且隔离层对钽靶材没有影响,避免了因扩散焊接后车削包套而车削到钽靶材表面造成靶材原材料成本浪费,以及车削铝包套造成加工成本浪费。

本发明的其他特征和优点将在随后的说明书中阐述,并且,部分地从说明书中变得显而易见,或者通过实施本发明而了解。本发明的目的和其他优点在说明书、权利要求书以及附图中所特别指出的结构来实现和获得。

附图说明

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