[发明专利]一种钇铝石榴石晶体的高效化学机械抛光方法

权利要求书

1.一种钇铝石榴石晶体的高效化学机械抛光方法，其特征在于，包含以下步骤：

第一步，配制化学机械抛光液

室温下，将磨料氧化锆、化学反应试剂氢氧化钠、添加剂加入去离子水中，超声震荡后得到化学机械抛光液，所述的添加剂为十二烷基苯磺酸钠、聚甲基丙烯酸纳、异丙醇、聚乙二醇20000的一种或两种以上组合物；化学机械抛光液中，所述的氧化锆浓度为0.04～0.1g/ml，氧化锆粒径为0.03-1μm；所述的氢氧化钠浓度为0.03～0.07g/ml；所述的十二烷基苯磺酸钠浓度为0.25g/L，聚甲基丙烯酸纳浓度为2g/L，异丙醇浓度为2g/L，聚乙二醇20000浓度为1g/L；

第二步，采用IC1000抛光垫作为化学机械抛光用抛光垫，修整抛光垫；

第三步，对钇铝石榴石晶体进行化学机械抛光，能够达到2nm/min的材料去除率，加工1小时后获得表面粗糙度Ra小于1nm的YAG晶体表面。

2.根据权利要求1所述的一种钇铝石榴石晶体的高效化学机械抛光方法，其特征在于，所述的氧化锆浓度优选为0.04g/ml，氧化锆粒径优选为1μm；所述的氢氧化钠浓度优选为0.07g/ml。

3.根据权利要求1或2所述的一种钇铝石榴石晶体的高效化学机械抛光方法，其特征在于，化学机械抛光参数为：抛光压力1-4N/cm²，抛光盘转速40-100r/min，抛光液流量6-9ml/min。

4.根据权利要求1或2所述的一种钇铝石榴石晶体的高效化学机械抛光方法，其特征在于，所述的第一步中超声震荡时间为30min。

5.根据权利要求3所述的一种钇铝石榴石晶体的高效化学机械抛光方法，其特征在于，所述的第一步中超声震荡时间为30min。