[发明专利]净化装置与曝光机

权利要求书

1.一种净化装置，用于对曝光机中光源部的净化，其特征在于，包括第一管道、第一净化器以及与所述第一净化器连接的循环单元，所述光源部通过所述第一管道与所述第一净化器连接；

其中，进入所述光源部的气体将所述光源部内的杂质带出后进入所述第一管道，所述第一净化器对从所述第一管道输出的气体进行净化处理，并将净化处理后的气体输出到所述循环单元；所述循环单元内的气体在杂质浓度大于阈值浓度时被排出。

2.根据权利要求1所述的净化装置，其特征在于，所述净化装置还包括第二管道，所述循环单元包括储气室以及设于所述储气室内的循环件，所述第一净化器与所述储气室连接，所述循环件通过所述第二管道与所述光源部连接，所述储气室用于储存气体，所述循环件用于将所述储气室中的气体通过所述第二管道运送到所述光源部。

3.根据权利要求2所述的净化装置，其特征在于，所述循环单元还包括与储气室连接的浓度监测器，所述浓度监测器用于比较所述储气室内的气体的杂质浓度与所述阈值浓度以确定所述气体的净化程度。

4.根据权利要求3所述的净化装置，其特征在于，所述储气室还连接有与所述第一净化器间隔设置的第二净化器，所述第二净化器用于净化外界的气体。

5.根据权利要求4所述的净化装置，其特征在于，所述净化装置还包括集气单元与输入管道，所述集气单元通过所述输入管道与所述第二净化器连接，所述集气单元用于收集外界的气体，且所述集气单元用于为所述循环单元提供气体。

6.根据权利要求5所述的净化装置，其特征在于，所述净化装置还包括抽气件，所述抽气件设于所述输入管道上，所述抽气件用于将所述集气单元中的气体抽送到所述第二净化器。

7.根据权利要求1所述的净化装置，其特征在于，所述净化装置还包括加压装置，所述加压装置与所述光源部连接，所述加压装置用于向所述光源部施加压力以使所述光源部内的气体进入所述第一净化器。

8.根据权利要求1所述的净化装置，其特征在于，所述循环单元连接有温度传感器，所述温度传感器用于感应所述循环单元的温度。

9.根据权利要求8所述的净化装置，其特征在于，所述循环单元还设有温度调节件，所述温度调节件与所述温度传感器连接，所述温度调节件用于在所述循环单元的温度发生变化时调节所述循环单元的温度。

10.一种曝光机，其特征在于，包括如权利要求1-9任一项所述的净化装置。