[发明专利]一种样品托

说明书

本发明公开了一种样品托，包括托盘、压紧片以及锁紧螺钉，所述托盘上设置有螺孔，所述压紧片上设置有通孔，所述锁紧螺钉穿过所述压紧片上的通孔与托盘上的螺孔连接固定。本发明的四个样品槽可以固定多个样品片，压紧片以及锁紧螺钉能够将样品片锁死固定在托盘上，传动滑槽能使其在不同设备间传递，为纳米真空互联实验站中小样品片的固定与传递提供了一种有效的途径。

技术领域

本发明涉及一种超高真空系统的传样装置的配件，具体涉及一种样品托。

背景技术

纳米真空互联实验站是由集材料生长、器件加工、测试分析为一体的纳米领域平台。该平台设计有100米的超高真空管道，并且在互联管道上互联33台用于材料生长、器件加工及测试分析的设备，对不同类型的样品进行生长、加工及测试分析。传样装置是超高真空系统的重要组成部分，通常由样品托、传样杆和样品接收台三部分组成，其作用是将样品传送到实验站的各个部分。

目前的技术方案是通过传送2英寸的硅片，将样品传递到不同设备，然而在实验的过程中，有的样品仅为小片，无法直接进行传递，就需要想办法将小片结合到2英寸的硅片上进行传递，具体做法是将小样品用铜胶带或点焊的方式固定在2英寸硅片上。但是这种固定方式一旦遇到需要做加热工艺的实验时，铜胶带或者点焊的位置就会融化，挥发有机物，污染真空环境。

虽然点焊的位置融化后仍旧有黏附性，但是小样品还是会松动，影响实验结果，而且由于不同的设备的进样模式以及测试方式各不相同，点焊也破坏了小样品的背面，使其无法适用于其他实验。

发明内容

本发明专利所要解决的技术问题在于克服现有技术的不足，提供一种可在不同设备中通用的能够稳定固定并存放小样品的样品托。

为了实现上述的目的，本发明采用了如下的技术方案：

一种样品托，包括托盘、压紧片以及锁紧螺钉，所述托盘上设置有螺孔，所述压紧片上设置有通孔，所述锁紧螺钉穿过所述压紧片上的通孔与托盘上的螺孔连接固定。

优选地，还包括传动滑轨，所述传动滑槽为沿着整个所述托盘外圆周面内陷设置的一圈环形凹槽。

优选地，所述托盘包括承接板，所述承接板上表面低于所述托盘的上表面，所述承接板的直径小于所述传动滑槽的内圆周面的直径。

优选地，所述托盘、压紧片以及锁紧螺钉材料均为钼。

优选地，所述承接板包括第一样品槽、第二样品槽、第三样品槽以及第四样品槽，所述第一样品槽、第二样品槽、第三样品槽与第四样品槽形状大小均相同。

优选地，所述第一样品槽、第二样品槽、第三样品槽以及第四样品槽均设置在所述承接板上，所述第一样品槽与第二样品槽、第三样品槽与第四样品槽均关于所述承接板与所述样品槽宽度方向同向的直径对称，所述第一样品槽与第三样品槽、第二样品槽与第四样品槽均关于所述承接板与所述样品槽长度方向同向的直径对称。

优选地，所述压紧片数目为三个，其中两个设置在所述第一样品槽与第二样品槽、的左右两边且部分遮住所述第一样品槽、第二样品槽、第三样品槽以及第四样品槽，另一个设置在所述第一样品槽与第二样品槽之间，且部分遮住所述第一样品槽、第二样品槽、第三样品槽以及第四样品槽。

优选地，所述锁紧螺钉布置在所述承接板上且关于所述承接板上与所述样品槽长度方向同向的直径对称布置。

优选地，所述承接板在第一样品槽、第二样品槽、第三样品槽以及第四样品槽的宽度方向外侧均设有通孔，所述通孔与所述样品槽长度相同且其宽度均向外延伸至传动滑轨的内圆周面。

本发明提供了一种提供一种可在不同设备中通用的能够稳定固定并存放小样品的样品托，四个样品槽可以固定多个样品片，压紧片以及锁紧螺钉能够将样品片锁死固定在托盘上，传动滑轨能使其在不同设备间传递，为纳米真空互联实验站中小样品片的固定与传递提供了一种有效的途径。