[发明专利]缺陷检查方法

说明书

图像处理方法和缺陷检查方法。能够在从被检查物的拍摄图像分选检查对象区域时减轻产生对作业人员要求熟练的判断等负担且简单地设定阈值并容易地选出检查对象区域。图像处理方法包括差分算出步骤，将具有相对于基准直线为线对称的第1及第2区域的单色的原图像通过基准直线划分为第1及第2区域，对于在第1及第2区域内相对于基准直线为线对称的位置配置的两个原像素的各对，算出成为两个原像素的像素值的差分的差分像素值。该方法还包括差分图像生成步骤，配置具有差分像素值的差分像素而生成差分图像，将具有使用第1区域内的第1位置的原像素和第2区域内的第2位置的原像素的对所算出的差分像素值的差分像素配置于差分图像的第1及第2位置而生成差分图像。

技术领域

本发明涉及使用通过拍摄装置对被检查物的表面进行拍摄而得到的拍摄图像来选出应对被检查物的表面进行缺陷检查的检查对象区域的图像处理方法以及使用了该图像处理方法的缺陷检查方法，尤其涉及对于具有线对称性的被检查物无论缺陷的种类如何均能够高精度且容易地选出检查对象区域的图像处理方法以及使用其的缺陷检查方法。

背景技术

使用通过拍摄装置对被检查物的表面进行拍摄而得到的拍摄图像对被检查物的表面检查有无缺陷的缺陷检查正在广泛地进行。申请人已经提出了对称为裂纹(crack)的线状缺陷进行检测的缺陷检查方法(专利文献1)。

在被检查物的表面，除了上述裂纹以外还存在龟裂、缺口、印痕、标记错误等多方面的缺陷。在检测上述缺陷时，使用了对数字化的拍摄图像进行数字处理的图像处理算法(图像处理方法)。

作为对被检查物进行拍摄的拍摄装置，使用搭载有如CCD(Charged-coupleddevices，电荷耦合器件)或者CMOS(ComplemeNtary metal-oxide-semicoNductor，互补性金属氧化半导体)那样的拍摄元件的摄像头。当在拍摄时从被检查物发出的光输入至上述拍摄元件时，光的强弱被变换成电信号的强弱并被进行数字化、被记录为数字图像。

(1)数字图像

在此，对数字图像进行说明。将构成图像的最小要素称为像素，数字图像由二维地排列的像素构成。各像素作为颜色信息，独立地具有组合了0和1的以二进制表示的数值，该数值表示从被检查物发出的光的强度和/或被检查物的表面的颜色。将各像素所具有的数值称为像素值，图像例如分为彩色图像、灰度等级图像等种类。

在彩色图像中，1个像素的颜色由作为构成该像素的分量的R(红)、G(绿)、B(蓝)三原色的分量比率来决定。因而，在彩色图像中表示1个像素的像素值时，多使用将RGB要素分别用8位来表示的24位(＝8位×3色)。

相对于彩色图像，将由白黑的浓淡来表现的图像称为灰度等级图像。灰度等级图像用8位表示1个像素的像素值，不包括颜色信息而仅包括亮度信息。暗像素具有低(小)的像素值，亮像素具有高(大)的像素值。将这样的明暗的等级的数称为灰阶。灰阶根据分配给1个像素的信息量而发生变化。在此，将信息量的单位称为位数，位数越大则灰阶会越大。具体而言，使位数为N时的灰阶数成为2^N。例如由于上述灰度等级图像的位数为8位，因此灰阶数成为2⁸＝256。并且，由于灰阶数为256，因此，灰度等级图像中的像素值的最小值为与漆黑对应的0，最大值为与纯白对应的255。

另外，在彩色图像中，多将颜色分解为上述R(红)、G(绿)、B(蓝)的三原色，对各颜色用相同的灰阶数来表现亮度。这与从彩色图像生成3个灰度等级图像即单色图像是等效的。在将上述的灰度等级图像的灰阶数256(8位)适用于RGB各色时，如上所述，彩色图像的位数成为8位×3色＝24位。该情况下的灰阶数成为2²⁴＝16777216，能够通过该灰阶数用数字图像表现所有的颜色。以24位表现彩色图像的颜色，在用人的眼睛观察时，会感觉到极为自然的颜色。因此，将以24位表现的彩色图像称为全彩色图像。