[发明专利]浆料冷却设备和具有该浆料冷却设备的浆料供给系统

权利要求书

1.一种浆料供给系统，包括：

浆料混合单元，所述浆料混合单元构造成对浆料进行混合；

浆料供给单元，在所述浆料混合单元中混合好的浆料被储存在所述浆料供给单元中，并且所述浆料供给单元构造成将浆料供给至抛光装置；

管道，所述管道构造成连接所述浆料混合单元与所述浆料供给单元；

浆料冷却单元，所述浆料冷却单元安装在被构造成连接所述浆料供给单元与所述抛光装置的管道中的至少一个管道之中，以冷却混合浆料，其中，所述浆料冷却单元包括：

第一主体单元，所述第一主体单元连接到供引入混合浆料的管道；

第二主体单元，所述第二主体单元连接到供混合浆料流出的管道；

多个管路管道，所述多个管路管道配置在所述第一主体单元与所述第二主体单元之间，并且构造成将混合浆料分流；以及

冷却水循环管道，所述冷却水循环管道联接到所述第一主体单元和所述第二主体单元，以围绕着所述多个管路管道的外侧，并且构造成使冷却水在所述冷却水循环管道中循环；以及

固定板，所述固定板插入所述冷却水循环管道，并且构造成固定多个所述管路管道的间隔位置，其中，所述固定板包括：

固定板主体，在所述固定板主体中形成有多个插入孔，所述多个所述管路管道插入所述多个插入孔中；以及

多个联接突起，所述多个联接突起联接到所述固定板主体的外侧，并且与所述冷却水循环管道的内侧紧密接触，其中，所述固定板主体通过所述联接突起与所述冷却水循环管道紧密接触。

2.如权利要求1所述的浆料供给系统，其特征在于，

所述浆料混合单元包括：

分配罐，在所述分配罐中储存有由中心化学品供给系统(CCSS)供给的浆料；

第一混合罐，所述第一混合罐构造成在储存于分配罐中的浆料被分配之后混合浆料与去离子水；

第二混合罐，在所述第二混合罐中储存有在所述第一混合罐中混合好的浆料；以及

输送管道，所述输送管道构造成将储存在所述第二混合罐中的混合浆料输送到所述浆料供给单元。

3.如权利要求2所述的浆料供给系统，其特征在于，

所述浆料供给单元包括：

供给管道，所述供给管道构造成将浆料供给至所述抛光装置；

入口管道，混合浆料通过所述入口管道而从所述输送管道被引入；以及

储罐，所述储罐连接到所述入口管道以储存所述混合浆料，并且连接到所述供给管道。

4.如权利要求3所述的浆料供给系统，其特征在于，所述浆料冷却单元安装在所述输送管道与所述入口管道之间以及安装在所述供给管道与连接管道之间，所述连接管道构造成连接所述抛光装置。

5.如权利要求1所述的浆料供给系统，其特征在于，所述第一主体单元和所述第二主体单元各自包括联接管道，所述联接管道定位成向外突出，以供管道插入并固定到所述联接管道。

6.如权利要求5所述的浆料供给系统，其特征在于，所述多个管路管道之间的间隙从所述联接管道的外侧向内侧逐渐增大，使得所述多个管路管道能够以与所述冷却水循环管道隔开预定间距的方式配置。

7.如权利要求1所述的浆料供给系统，其特征在于，所述固定板以与所述冷却水循环管道的内侧隔开的方式而配置有多个。

8.如权利要求1所述的浆料供给系统，其特征在于，所述多个联接突起以彼此隔开预定间距的方式配置，以形成流路，所述流路构造成使冷却水在所述冷却水循环管道内循环。

9.如权利要求1所述的浆料供给系统，其特征在于，

所述浆料冷却单元还包括：

冷却水入口管道，所述冷却水入口管道联接到所述冷却水循环管道，并且构造成将冷却水引入所述冷却水循环管道；以及

冷却水出口管道，所述冷却水出口管道联接到所述冷却水循环管道，并且构造成将在所述冷却水循环管道中循环的冷却水排出。