[发明专利]一种靶材切割机

说明书

本发明公开了一种靶材切割机，包括框架、冷却组件、Z轴工作组件、Y轴工作组件、真空吸附组件、模具组件、腐蚀组件、打磨组件、机械手组件和切割组件。其有益效果为：（1）减少切割阻力，提高加工效率；（2）可修整靶材外形，保证产品质量；（3）可多方位切割；（4）提高切割工作稳定性；（5）有利于切割过程进行，提高切割精确度。

技术领域

本发明涉及一种靶材切割机，属于机械加工技术领域。

背景技术

随着我国科学技术的日益发展，半导体工艺的应用也越来越广泛，因此靶材的需求量也逐渐增加。在靶材生产过程中，重要的一道工序是机加工，主要使用切割机进行加工。目前市场上切割机主要存在以下问题：（1）实际应用型单一；（2）对加工材料有特殊要求；（3）操作程序较为复杂；（4）加工效率低；（5）对加工材料造成损坏；（6）工作时容易出现故障。针对以上情况，设计开发一种实用高效、一体化操作的靶材切割机，可以大大改善实际工作情况，提高经济效益。

发明内容

为了解决现有技术存在的问题，本发明提供一种靶材切割机，技术方案如下：

一种靶材切割机，包括框架、冷却组件3、Z轴工作组件6、Y轴工作组件8、真空吸附组件9、模具组件10、腐蚀组件11、打磨组件12、机械手组件13和切割组件18；

其中，所述框架包括栏框2、承重平台Ⅰ4、立杆Ⅰ5、承重平台Ⅲ14、立杆Ⅱ15、承重平台Ⅳ17和支撑板16；栏框2安装在承重平台Ⅰ4下方，栏框2底部均匀设有多个调整地脚1；承重平台Ⅲ14通过多根均匀分布在承重平台Ⅰ4四周的立杆Ⅰ5安装在承重平台Ⅰ4上方，承重平台Ⅳ17通过多根立杆Ⅱ15安装在承重平台Ⅲ14上方；支撑板16由两块竖板和顶部一块横板组成，横板与承重平台Ⅳ17高度一致，承重平台Ⅳ17与横板侧缘中段连接；承重平台Ⅲ14中部设有开口，立杆Ⅱ15位于开口前侧，支撑板16位于开口后侧；

所述冷却组件3包括储液箱301、导管302、转向口303和喷头304；多根导管302均匀设置在储液箱301两侧，导管302出口端安装喷头304，转向口303安装在导管302中部；

所述Z轴工作组件6包括微调节杆601、粗调节杆602、伸缩管603、微调节箱和承重平台Ⅱ7；多根粗调节杆602均匀分布在承重平台Ⅱ7上四周，穿过承重平台Ⅱ7，一端固定在承重平台Ⅰ4上，另一端固定在承重平台Ⅲ14下侧，通过位于承重平台Ⅱ7下侧的调节部件来调整承重平台Ⅱ7的垂直位置；套装在粗调节杆602外部的伸缩管603，一端连接在承重平台Ⅱ7上，另一端连接在承重平台Ⅲ14下侧，可以起缓冲作用；微调节杆601安装在承重平台Ⅱ7下方中央，与微调节箱连接；

所述Y轴工作组件8包括转向台Ⅰ802、伸缩带801和Y轴调节箱；转向台Ⅰ802两端均安装有伸缩带801，伸缩带801与Y轴调节箱连接；

所述真空吸附组件9包括真空吸附板901、活动螺栓902、气管903、真空泵904和真空泵底座905；多个活动螺栓902均匀设置在真空吸附板901两侧，真空吸附板901内部设有腔室，真空吸附板901与真空泵904之间通过多根气管903连通，真空泵底座905位于真空泵904底部；

所述模具组件10包括转向台Ⅱ1001、机械支架Ⅰ1002、卡扣1003和模具1004；机械支架Ⅰ1002安装在转向台Ⅱ1001上，模具1004通过卡扣1003安装在机械支架Ⅰ1002端头；

所述腐蚀组件11包括转向台Ⅲ1101、机械支架Ⅱ1102和腐蚀枪1103；机械支架Ⅱ1102安装在转向台Ⅲ1101上，腐蚀枪1103安装在机械支架Ⅱ1102端头；

所述打磨组件12包括转向台Ⅳ1201、机械支架Ⅲ1202和砂轮1203；机械支架Ⅲ1202安装在转向台Ⅳ1201上，砂轮1203安装在机械支架Ⅲ1202端头；