[发明专利]晶片表面颗粒物在线检测方法、装置及晶片生产线

权利要求书

1.一种晶片表面颗粒物在线检测装置，其特征在于，包括：

激光发射器，用于向晶片发射原始激光束；

激光转换组件，设置在所述激光发射器和所述晶片之间，用于将所述原始激光束转变为线激光，以使所述线激光垂直地入射所述晶片的表面，所述线激光用于对行进中的所述晶片的表面进行面扫描；

信号接收器，与所述原始激光束的入射方向相偏离，用于在所述线激光入射到所述晶片表面时，接收由所述晶片反射的反射激光。

2.根据权利要求1所述的在线检测装置，其特征在于，所述激光转换组件包括鲍威尔棱镜和菲涅尔透镜，所述鲍威尔棱镜和所述菲涅尔透镜顺次设置在所述激光发射器和所述晶片之间，所述鲍威尔棱镜用于将所述原始激光束转换为散射激光，所述菲涅尔透镜用于将所述散射激光准直为所述线激光。

3.根据权利要求2所述的在线检测装置，其特征在于，所述线激光的投影长度不小于所述晶片的最大宽度，所述鲍威尔棱镜和所述菲涅尔透镜之间的距离与所述线激光的投影长度成正比。

4.根据权利要求1所述的在线检测装置，其特征在于，所述激光发射器与所述激光转换组件之间设置有光闸。

5.根据权利要求1所述的在线检测装置，其特征在于，所述信号接收器包括上游接收器和下游接收器，所述上游接收器和所述下游接收器分别设置在所述晶片的行进路径的上游端和下游端。

6.根据权利要求1-5任一项所述的在线检测装置，其特征在于，还包括与所述信号接收器相连接的在线检测控制器，所述在线检测控制器用于根据所述信号接收器接收到的由所述晶片反射的反射激光，实时确定所述反射激光与所述线激光的入射方向之间的偏离角度，并根据所述偏离角度确定所述晶片表面的缺陷情况。

7.根据权利要求6所述的在线检测装置，其特征在于，所述在线检测控制器还连接有用于保存所述晶片表面的检测结果的存储器。

8.根据权利要求1-5任一项所述的在线检测装置，其特征在于，该装置还包括传送组件，所述传送组件和所述激光发射器分别设置在所述激光转换组件的两侧，所述传送组件用于带动所述晶片行进，以使所述晶片的行进方向与所述线激光的投影相垂直。

9.根据权利要求8所述的在线检测装置，其特征在于，所述传送组件包括传送带和驱动轴，所述传送带的两端分别设有所述驱动轴，所述驱动轴用于带动所述传送带运动，以带动所述晶片沿预设路径行进，所述预设路径的方向与所述线激光的长度相垂直。

10.根据权利要求8所述的在线检测装置，其特征在于，该装置还包括龙门架，所述龙门架立在所述传送组件的上方，所述激光发射器和所述激光转换组件由上至下顺次固定在所述龙门架上，所述龙门架的前后两侧分别固定有所述信号接收器。

11.一种晶片生产线，其特征在于，包括晶片传送系统、以及如权利要求1-10任一项所述的晶片表面颗粒物在线检测装置，所述在线检测装置安装在所述晶片传送系统上。

12.一种晶片表面颗粒物在线检测方法，其特征在于，包括以下步骤：

激光发射器向激光转换组件发射原始激光束；

通过所述激光转换组件将所述原始激光束转变为线激光；

晶片沿预设路径行进并穿过所述线激光时，所述线激光对行进中的所述晶片表面进行连续的线扫描，以形成面扫描；

在所述线激光入射到所述晶片表面时，通过所述信号接收器接收由所述晶片反射的反射激光，并确定所述反射激光与所述线激光的入射方向之间的偏离角度；

根据所述偏离角度确定所述晶片表面的缺陷情况。