[发明专利]LCoS显示面板及其制造方法

说明书

本发明提供一种LCoS显示面板及其制造方法，所述制造方法在晶圆基板和/或透明基板上形成了至少一圈阻隔墙，当透明基板和晶圆基板对合时，液晶受到挤压将向四周扩散，当液晶遇到所述阻隔墙后即被阻挡，这可给后续的框胶固化提供充足的时间，保证框胶被固化前不与液晶接触，且经过固化后框胶内只能残存很少的未交联的自由基团，由于阻隔墙的存在，这些残存的自由基团几乎不能移动到显示区，由此可以阻止框胶向显示区移动而污染液晶，进而保证液晶填充区的面积稳定，有利于液晶量和盒厚的控制，同时能够提高产品合格率和显示效果。

技术领域

本发明涉及显示器技术领域，尤其涉及一种LCoS显示面板及其制造方法。

背景技术

硅基液晶显示器(LCoS，Liquid Crystal on Silicon)技术是液晶显示(LCD，Liquid Crystal Display)技术与互补金属氧化物半导体(CMOS，Complementary MetalOxide Semiconductor)集成电路技术有机结合的反射型新型显示技术，多用于如手持式投影仪和近眼显示器等消费类电子产品，还具有在光通信技术上的应用。LCoS显示面板利用硅晶圆作为基板，并以金属氧化物半导体晶体管(MOStransistor)取代薄膜晶体管，且与一般LCD显示面板利用透明导电材料作为像素电极不同，LCoS显示面板以金属材料作为像素电极，通过光线反射的原理成像，又称之为反射式液晶微型面板。

请参考图1，LCoS显示面板通常包括晶圆基板100和玻璃盖板101，所述晶圆基板100与所述玻璃盖板101之间通过框胶102粘合在一起，并将液晶材料103封装在内。现有LCoS显示面板的成盒制作工艺主要有ODF(滴下式注入，One Drop Filling)和灌注，其中所述ODF工艺具体是：首先，在晶圆基板100和玻璃基板101中的一个基板上进行框胶102涂敷，在另一个基板上进行液晶103滴注，或者，在同一个基板上同时进行框胶102涂敷和液晶103滴注；然后，在真空状态下将晶圆基板100和玻璃基板101对合；接着，对框胶102进行紫外光固化和热固化，所述框胶102除了将晶圆基板100和玻璃基板101粘结在一起之外，还起到抵御水汽等外部环境的入侵。此工艺制作效率更高，产量更大。但由于LCoS显示面板的尺寸一般较小，框胶102距离显示区域很近，在采用ODF工艺对合晶圆基板100和玻璃基板101时，液晶103会和未固化的框胶102直接接触，此时框胶102内大量的自由基团(即游离基团)102a会进入液晶103(尤其是当LCoS产品长时间工作时这些自由基团102a会更容易进入液晶)，导致液晶103污染，进而产生显示异常的问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种LCoS显示面板及其制造方法，能够阻挡框胶向显示区移动，保证液晶填充区的面积稳定，有利于液晶量和盒厚的控制以及显示效果的提高。

为了实现上述目的，本发明提供一种LCoS显示面板的制造方法，包括以下步骤：

提供一形成有MOS晶体管的晶圆基板和一用于与所述晶圆基板盖合的透明基板，在所述晶圆基板和/或透明基板对应的显示区的周围形成至少一圈阻隔墙，所述阻隔墙的高度低于要求的盒厚；

在所述晶圆基板和/或透明基板上进行框胶涂敷和液晶滴注，所述框胶涂覆在最外圈的所述阻隔墙远离所述显示区的一侧，所述液晶滴注在最内圈的所述阻隔墙的内侧所围的区域内；

将所述晶圆基板和所述透明基板对合，并对所述框胶进行固化。

可选地，一圈所述阻隔墙的形成步骤包括：

在所述晶圆基板或所述透明基板的表面上覆盖一隔离材料层；以及，

通过光刻和刻蚀工艺图案化所述隔离材料层，以形成在所述基板对应的显示区周围形成一圈所述阻隔墙。

可选地，当所述晶圆基板或所述透明基板上形成多圈所述阻隔墙时，所述多圈阻隔墙的高度按照远离所述显示区的方向依次降低。